Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9177210 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 ist eine Single-Wafer konzentrische induktiv gekoppelte Plasma (ICP) Reaktorausrüstung weit verbreitet in fortschrittlichen Material- und Gerätebearbeitung. Es bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber herkömmlichen Reaktorsystemen, wie ein durchsatzstärkeres Verfahren und eine bessere Prozesssteuerung. Dadurch eignet es sich gut für eine Vielzahl von Plasmaanwendungen, einschließlich Ätzen, Abscheiden und Oxidation/Reduktion. Der Reaktor verfügt über eine Dual-Laser-Quelle, die hilft, die Gleichmäßigkeit des Plasmas zu verbessern und die Waferoberfläche effektiv zu reinigen. Die Laserquelle befindet sich außerhalb der Hauptkammer, was eine erhöhte Prozesssicherheit und Kontrolle ermöglicht. Der Dual-Laser ermöglicht eine bessere Kontrolle der Plasmaparameter und ermöglicht so einen effizienteren Betrieb. Der Reaktor kann Wafer mit einem Durchmesser von 200-300 mm handhaben und hat eine maximale HF-Leistung von 1.2kW und bis zu 4kW induktiver Leistung. Die HF-Leistung kann von Null auf eine beliebige Frequenz eingestellt werden, was eine präzise Steuerung der Plasmaleistung ermöglicht. Mit dem oberen Schild wird eine gleichmäßige, temperaturstabile Atmosphäre erzeugt, die für Diffusionsprozesse geeignet ist. Das System ist mit einer HF-Rückkopplungsschleife ausgestattet, die die Plasmaleistung kontinuierlich überwacht, um eine präzise Steuerung seiner Parameter zu ermöglichen. Dies sorgt für einen hochgenauen und wiederholbaren Prozess. Der Reaktor weist außerdem eine Konvektionsregelung mit variabler Geschwindigkeit auf, um eine gleichmäßige Plasmaverteilung aufrechtzuerhalten. Dies ermöglicht eine gleichmäßigere Materialabscheidung über den Wafer. Dies eignet sich insbesondere für anisotrope Ätzanwendungen, bei denen das Material von allen Oberflächen gleichmäßig geätzt werden muß. Das Gerät ist sowohl für die Installation vor Ort als auch für tragbare Systeme konzipiert. Es ist vollständig anpassbar, je nach spezifischen Prozessanforderungen, und es kann für komplexe benutzerdefinierte Rezepte eingerichtet werden. Es enthält auch mehrere Sicherheitsmerkmale für die Prozesssicherheit. AMAT 0010-36408 Reaktor ist eine sehr vielseitige Maschine für Materialbearbeitung und Geräteherstellung Anwendungen. Es bietet schnelle Verarbeitungsraten und eine höhere Prozesssteuerung als andere Systeme. Es eignet sich für den Einsatz in einer Vielzahl von Industrie-, Forschungs- und Bildungsumgebungen.