Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #293591839 zu verkaufen

ID: 293591839
Right narrow body chamber Door assembly.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005 ist ein Reaktor für die Lichtabscheidung von dünnen Schichten. Es wird in Silizium- und Verbindungshalbleiterabscheidungen sowie LED und anderen optoelektronischen Materialien verwendet. Der Reaktor weist eine große Prozesskammer mit einem Durchmesser von 36 Zoll und einer Tiefe von 35 Zoll auf. Die Kammer ist eine inerte Prozessumgebung, die den gesamten Bereich von Temperaturen, Vakuumbedingungen und Sauberkeit ermöglicht, die für die Abscheidung erforderlich sind. Es verfügt über ein Warmwanddesign, eine Turbo Torr Pumpenausrüstung und eine direkte frequenzbasierte HF-Stromversorgung. Das Warmwanddesign bietet eine ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit und richtungsmäßig gut kontrolliertes Plasma. Das Stromversorgungssystem führt bei Dünnschichtprozessen zu überlegener Gleichmäßigkeit, Dosisrate und Wiederholbarkeit. Es bietet auch eine größere Kontrolle über die Größe und Form von Nanostrukturen. Dies ist ein wichtiges Merkmal für Lichtabscheidungsanwendungen, die eine genaue Schichtdickenregelung erfordern. Die Prozesskammer ist mit einem Elektrodenkorb ausgestattet, der eine volle Flexibilität in der Elektrodenanordnung ermöglicht. Dies ist ein wertvolles Merkmal für mehrere Dünnschichtprozesse, wie z.B. Epitaxie, bei denen selbstmontierte Strukturen mit präziser Steuerung der Foliendicke geschaffen werden müssen. Der Reaktor AMAT 0010-75005 verfügt auch über Elektronenkanonen mit Direktantrieb, mehrstufige Verschlusssteuerung, Prozessinstrumentation und eine automatisierte Prozessüberwachungseinheit. Diese Merkmale gewährleisten eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei Dünnschichtabscheidungen. Die Prozessparameter können schnell geändert werden, ohne dass eine manuelle Anpassung erforderlich ist. Die automatisierte Prozessüberwachungsmaschine ermöglicht zudem ein umfassendes Feedback zum Prozesszustand, das eine optimale Leistung gewährleistet. Dies trägt zur Verringerung der Variabilität bei und führt zu konsistenteren Produktionen. Insgesamt ist der APPLIED MATERIALS 0010-75005 Reaktor ein ausgezeichnetes Werkzeug für Lichtabscheidungsprozesse. Es bietet eine ausgezeichnete Temperaturgleichförmigkeit, eine präzise Kontrolle der Größe und Form von Nanostrukturen und ein gründliches Feedback zum Prozesszustand, wodurch eine optimale Leistung und Wiederholbarkeit gewährleistet ist. Mit seinem breiten Spektrum an Funktionen ist dieser Reaktor eine ideale Wahl für LED- und optoelektronische Materialabscheidungen.
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