Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9087782 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005 Reaktor ist ein Arbeitsmodell des Prozessreaktors, der für die Mittel- bis Hochserienfertigung von Chemie- und/oder Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Es bietet einen dedizierten Arbeitsraum für alle notwendigen Prozessschritte in Halbleiterherstellungen bis 8 Zoll Wafer. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um den Prozess zu optimieren, indem mehrere Module in eine Einheit integriert werden können, wodurch eine effiziente und kostengünstige Produktionszelle geschaffen wird. AMAT 0010-75005 Reaktor ist mit einer hochwertigen Quarz-, Pyrex- oder Aluminiumoxidreaktorkammer für verschiedene Gasströme und Temperaturen ausgestattet. Alle Module im System sind mit Temperatursensoren integriert, die eine hervorragende thermische Steuerung und konsistente Wiederholbarkeit der gewünschten Prozessparameter ermöglichen. Es umfasst eine turbomolekulare In-situ-Pumpe, die eine hochwertige ultrahoche Vakuumumgebung schafft und Ausgasungen und andere unerwünschte Phänomene verhindert. Zu den Hauptkomponenten dieser Einheit gehören: Roboterlader: Eine computergesteuerte automatische Be- und Entlademaschine zum Verwalten der Wafer in der Prozesskammer. Controller: Dazu gehören ein Human-Machine Interface (HMI) für die Dateneingabe, ein Recipe Editor für die Erstellung von Prozessparametern, ein Central Process Controller (CPC) für die Steuerung der Prozesse und ein Software Tool Kit für die Anpassung von Funktionen. Reaktionskammer: Diese hat eine breite Palette von Möglichkeiten, eine Vielzahl von Prozessanwendungen zu ermöglichen. Es ist mit einer beheizten Kuppel, einer elektrischen Injektorheizung und einer Prozessanschlusstechnologie ausgestattet, die schnelle, wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Gasverteilungswerkzeug: Dazu gehören ein hochpräziser Druckregler, Massenstromregler und andere Gassysteme, um Genauigkeit und Reproduzierbarkeit in der Gasverteilung zur Reaktionskammer sicherzustellen. Sputterquelle: Dies beinhaltet eine Reihe von Sputterquellenoptionen, einschließlich planarer Kanonen, rotierender Zylinder und rotierender Ziele für verschiedene Anwendungen. In-situ Film Dicke Monitor und Kontamination Monitor: Diese Monitore bieten Echtzeit-Feedback auf die Parameter in der Reaktionskammer. Darstellungsbereich: Dieser Darstellungsbereich bietet einen klaren Einblick in die Reaktionskammer, wodurch die Prozessvariabilität minimiert wird. ANGEWANDTE MATERIALIEN 0010-75005 Reaktor ist vollautomatisch und kann mehrere Prozessschritte aufnehmen. Dieses Asset ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung mit sofortigem Feedback zu den Prozessbedingungen. Es kann für eine Vielzahl von Temperatur- und Druckanwendungen verwendet werden und ist einzigartig entworfen, um Flexibilität und Wiederholbarkeit zu bieten. 0010-75005 Reaktor ist eine ausgezeichnete Wahl für mittlere bis hohe Serienanforderungen.
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