Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9389380 zu verkaufen
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ID: 9389380
Chamber / Door assembly right DLL for Centura
Auto indexer B for Centura (Part number: 0010-20286) included.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005 ist ein Einzelwaferreaktor, der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Der Einscheibenreaktor wird im Rahmen des thermischen Glühprozesses eingesetzt. Es ermöglicht hohe Temperaturen in einer streng kontrollierten Umgebung für Anwendungen von einfacher Dotierungsaktivierung bis hin zu komplexer struktureller Integration. AMAT 0010-75005 besteht aus mehreren Komponenten, die zusammenarbeiten, um eine komplette Ausrüstung zu schaffen. Es enthält zwei vertikal gegenüberliegende Lampen, die der Reaktionskammer gleichmäßige Wärmeenergie liefern. Diese Lampen werden mit ZWEI Stromversorgungen betrieben, die die Bestrahlung auf eine Gesamtleistung von bis zu 10kW genau steuern. Zusätzlich enthält die Reaktionskammer einen Reflektor, der weiterhin eine gleichmäßige Bestrahlung gewährleistet. Die Verladung und ein Vakuumübertragungsmechanismus ermöglichen eine sichere Beladung des Einzelwafersubstrats mittels einer Schnellwechselkassette. Der Reaktor ist mit Rapid Thermal Processing (RTP) Technologie ausgestattet, um Parameter wie Temperatur, Druck und Zeit für präzise Glühergebnisse zu steuern. Dies führt zu einer verbesserten Geräteleistung und Zuverlässigkeit. APPLIED MATERIALS 0010-75005 verwendet ein PC-basiertes Software-Paket zur Verarbeitung von thermischen Chargen, um den Glühprozess zu optimieren. Dies gewährleistet die Kontrolle des thermischen Prozesses und ermöglicht die Wiederholbarkeit von Charge zu Charge. Darüber hinaus ist der Reaktor mit Sicherheitsfunktionen ausgelegt, um die Systemintegrität zu optimieren und Bediener und Personal zu schützen. 0010-75005 ist eine benutzerfreundliche Einheit mit einem großen Touchscreen-Panel und intuitiven Bedienmenüs. Vakuumsteuerung und Wafer-Heizung wird automatisch verwaltet und die Sicherheitsverriegelungsmaschine kann für benutzerdefinierte Parameter eingestellt werden. Verschiedene Substrate können durch AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005 verarbeitet werden, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und anderen Materialien. Zusammenfassend ist AMAT 0010-75005 ein Einzelwaferreaktor, der für thermische Glühprozesse verwendet wird. Es bietet eine präzise Kontrolle über Temperatur, Druck und Zeit für verbesserte Glühergebnisse und ermöglicht die Automatisierung von Chargenprozessen. Seine Sicherheitsmerkmale gewährleisten die Werkzeugintegrität und schützen Bediener und Personal. Dieser Reaktor ist ein wirksames Werkzeug zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit mehreren Substraten.
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