Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-77533 #293655752 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-77533
ID: 293655752
Wafergröße: 8"
CMP Heads for Titan I, 8" Process: Oxide.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-77533 ist ein fortschrittlicher Reaktor für die Abscheidung von dünnen Filmen. Der Reaktor weist eine zweizonige, geschlossenzellige Querstromkonstruktion mit vertikal ausgerichteter Quelle und Abschirmung auf. Die Abschirmung ist in der beheizten Gaszelle enthalten, die durch eine Hochleistungsquarzlampe erhitzt wird und präzise Steuerungsmechanismen verwendet, um eine gleichmäßige Abscheidung von qualitativ hochwertigen Dünnfilmen zu gewährleisten. Die Heizgaszelle ist so ausgelegt, dass sie durch die Verwendung eines differentiellen Massenstromreglers eine gleichmäßige Temperatur aufrechterhält. Dies gewährleistet eine zuverlässige, wiederholbare Filmabscheidung und gewährleistet optimale Abscheidebedingungen. Quelle und Schild sind auch optimiert, um Verschmutzungen zu reduzieren, was hilft, hochwertige dünne Folien mit minimaler Variabilität zu gewährleisten. Um eine gleichmäßige Schichtdicke zu erreichen, enthält der Reaktor AMAT 0010-77533 einen dreiachsigen Anker. Dieser Anker verfügt über eine Drehsteuerung, die die Auswirkungen der Schwerkraft minimiert und gleichmäßige Abscheideraten auf allen Materialien an den Kammerwänden beibehält. Der Anker ist aus hochtemperaturbeständigem Material aufgebaut und kann sich von Seite zu Seite und in und aus der Prozesskammer nach oben und unten bewegen, um eine gleichmäßige Wärmeenergieübertragung in den Abscheidungsbereich zu gewährleisten. Der Reaktor ist mit mehreren erweiterten Funktionen zur Überwachung und Steuerung des Abscheidungsprozesses ausgestattet. Dazu gehört ein präziser und genauer Quarztemperaturregler, der voreingestellte Temperaturbereiche einhalten kann. Dies hilft, eine gleichmäßige und gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst der Reaktor optische Emissionsspektroskopie (OES), um Prozessparameter wie Sauerstoff, Argon, Stickstoff, Schwefel und andere Gase zu überwachen. Dies gewährleistet eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses und trägt zur Verbesserung des Durchsatzes bei. APPLIED MATERIALS 0010-77533 Reaktor bietet auch eine Reihe von Automatisierungsfunktionen für mehr Produktivität und Effizienz. Dazu gehören automatische Leistungsregelung, automatische Vorschubgeschwindigkeitsregelung und automatische Abschirmung. Die automatische Leistungsregelung ermöglicht eine wiederholbare und konsistente Leistung und verkürzt die Dauer des Abscheideprozesses. Die automatische Vorschubgeschwindigkeitsregelung verbessert die Präzision und Wiederholbarkeit bei der Materialzufuhr in die Abscheidekammer. Schließlich trägt die automatische Abschirmung dazu bei, das Risiko einer Kontamination zu reduzieren und die Lebensdauer der Komponenten zu verlängern. Insgesamt ist der Reaktor 0010-77533 so konzipiert, dass er hochwertige dünne Filme sicher, effizient und wiederholbar bereitstellt. Es weist eine zweizonige, geschlossenzellige Querströmung mit einer vertikal ausgerichteten Quelle und einem Schild, einer quarzlampenheizten Gaszelle und einem dreiachsigen Anker zur gleichmäßigen Abscheidung auf. Das Gerät ist auch mit fortschrittlichen Überwachungs- und Automatisierungsfunktionen ausgestattet, um die Produktivität zu erhöhen und die Folienqualität zu verbessern.
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