Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C #9087289 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C ist ein Reaktor, der speziell für die Verwendung von CVD-Prozessen (Chemical Vapor Deposition) entwickelt wurde. Diese Vorrichtung hat eine zylindrische Kammer, die zwei Fuß lang und zwei Fuß im Durchmesser ist. Die Kammer weist am Boden der Kammer ein elektrisch beheiztes Spannfutter auf. Mit diesem Spannfutter wird das Substrat oder das die CVD-Behandlung aufnehmende Objekt gehalten. Die Substrate können im Durchmesser von zwei bis sechs Zoll liegen. Die Kammer weist außerdem eine vier Ventilzugangsöffnung auf, die an ihrem oberen Rand knapp unter dem Hals der Kammer sitzt. Diese Öffnung ermöglicht das Ein- und Ausströmen von Materialien während eines CVD-Prozesses. Diese vier Ventile werden häufig zur Steuerung der Ein- und Auslassgeschwindigkeiten für verschiedene Substanzen wie Prozessgase und Vakuumpumpenabgase verwendet. Die Ventile können je nach Anwendungsfall auf vielfältige Weise konfiguriert werden. Die Kammer verfügt auch über Aluminiumoxid-Suszeptor, oder ein spezialisiertes Stück aus keramischem Material, das auf dem Futter platziert wird, um die Wärme gleichmäßig in der Kammer zu verteilen. Dies trägt dazu bei, dass das Substrat unabhängig davon, wo sich das Don in der Kammer befindet, die gleiche Wärme erhält. Der Reaktor AMAT 0020-20626 Rev C verfügt über eine Reihe von Funktionen, die einen sicheren Betrieb ermöglichen. Die Kammer ist mit einem Notabschalter ausgestattet, mit dem im Notfall die Stromversorgung des Systems abgeschaltet werden kann. Darüber hinaus ist der Reaktor auch mit einem Inertgasströmungssystem ausgestattet, mit dem sauberes Stickstoffgas eingepumpt werden kann, um eventuell gefährliche brennbare Gase in der Kammer zu verdrängen. Leistungsmäßig ist der Reaktor mit einem 20.000 Watt Heizelement ausgestattet, das in der Lage ist, die notwendigen Temperaturen für die Durchführung verschiedener CVD-Prozesse bereitzustellen. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine variable Stromversorgung, die eingestellt werden kann, um je nach den Anforderungen des Prozesses unterschiedliche Leistungsstufen bereitzustellen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C Reaktor ein zuverlässiges und vielseitiges Gerät, das für eine Vielzahl von CVD-Prozessen verwendet wurde. Es verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, so dass es sicher bei einer Vielzahl von Temperaturen für eine Reihe von verschiedenen chemischen Aufdampfanwendungen betrieben werden kann.
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