Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-00893 #293658095 zu verkaufen

ID: 293658095
Spare part for MxP+.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-00893 Reaktor ist ein zweizoniger vertikaler chemischer Aufdampfreaktor (CVD), der für die hochvolumige Abscheidung von dünnen Schichten wie Halbleitern, Spezialkeramiken und Metalloiden ausgelegt ist. Dieser Reaktor verwendet eine Kombination aus Wärme- und chemischen Vorstufen, um das Material direkt auf einem Substrat, wie einem Siliziumwafer, in zwei unabhängigen Arbeitszonen abzuscheiden. Der Reaktor weist zwei völlig unabhängige und isolierte vertikale Zonen auf, die einzeln erwärmt werden können, um material- oder prozessspezifische Bedingungen zu optimieren. Dies ermöglicht einen einzigartigen Mehrzonenabscheidungsprozess. Jede Zone kann auf eine andere Temperatur eingestellt werden, um eine genaue und gleichmäßige Abscheidung auf dem Substrat zu gewährleisten, sowie um die Temperaturgleichförmigkeit zwischen Substraten und verschiedenen Verarbeitungsbedingungen zu erhalten. Die untere Zone beherbergt eine isotherme Pyrexquarzkammer, die speziell für eine Vielzahl von Prozessen programmiert werden kann, wodurch sie für viele Abscheidungstechniken geeignet ist. Ausgestattet mit einem 6-Zoll-runden Substrathalter bietet der AMAT 0040-00893 Reactor Platz für bis zu 150 einzelne Substrate für maximalen Wirkungsgrad. Der Substrathalter ist so ausgelegt, dass jedes unerwünschte Material leicht entfernt werden kann, ohne dass das System entlüftet werden muss. Der Reaktor ist auch mit einem Gaseinleitungssystem ausgebildet, das hochflexibel ist und ungesättigte Vorstufen aufnehmen kann und somit den Zweizonenabscheidungsprozess voll ausnutzt. Zur Optimierung der Abscheiderate hochspezifischer Folien ist auch ein einstellbarer Strömungsbereich enthalten. Der Reaktor ist außerdem mit einem zusätzlichen Port ausgestattet, der eine Überwachung der Prozessparameter vor Ort ermöglicht und eine erhöhte Prozesskontrolle und Sicherheitsüberwachung ermöglicht. Bedienung ANGEWANDTE MATERIALIEN 0040-00893 Reaktor ist einfach, da es mit einem intuitiven Bedienfeld entworfen ist, um die Parameter für eine effiziente und sichere Verarbeitung zu überwachen und anzupassen. Insgesamt ist der 0040-00893 Reaktor eine gute Wahl für Forschungs- und Industrieanwendungen, da er ausgestattet ist, um eine gleichmäßige Abscheidung von dünnen Filmen zu gewährleisten und gleichzeitig einen sicheren und effizienten Betrieb zu ermöglichen.
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