Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-49285 #293647105 zu verkaufen

ID: 293647105
Liner, cathode, baffle.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-49285 Reaktor ist ein Hochleistungs-, Hochtemperatur- und Hochdruck-Plasmabearbeitungssystem. Es ist eines der fortschrittlichsten Werkzeuge für die Industrie, die einheitliche Temperatur, saubere Verarbeitung und hohe Materialabscheidungsraten zur Verfügung stellt. Der Reaktor AMAT 0040-49285 eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen wie Dünnschichtabscheidung, Ionenimplantation, Ätzen und Leiterbahnen. Der Reaktor ist mit einer Stromquelle, HF-Stromquelle und einer Mehrkammer-Baugruppe ausgestattet. Die Stromquelle ist in der Lage, die Hochspannung bis 450V zur Preionisierung der Kammer und der Plasmabildung in der Kammer zu erzeugen. Die HF-Stromquelle kann bis zu 24 kW Leistung erzeugen, um die Hochfrequenzwellen zu erzeugen, die zur Aufrechterhaltung des Plasmas erforderlich sind. Die Mehrkammeranordnung besteht aus einer Kathodenkammer, einer Anodenkammer und einer Niederdruckhauptkammer. Die Kathodenkammer erzeugt mit der von der Hochfrequenzstromquelle erzeugten Hochfrequenzleistung einen Strom von Ionen, die zur Anode hin gerichtet und beschleunigt werden. Die Anodenkammer enthält ein zu bearbeitendes Werkstück und wird gleichzeitig beheizt. Die Niederdruck-Hauptkammer ist in der Lage, die durch die HF-Leistung erzeugten hohen Temperaturen und Drücke aufzunehmen und gleichzeitig Lichtbogen oder Kurzschlüsse zu verhindern. Die Mehrkammerkonfiguration des Reaktors APPLIED MATERIALS 0040-49285 ermöglicht eine sehr präzise Steuerung der Prozesse. Temperatur und Druck der Kammern können bei Bedarf genau überwacht und eingestellt werden. Außerdem können Druck und Temperatur in der Anodenkammer über Quellgasstrom bzw. Elektronenbeschuss weiter eingestellt werden. Dies ermöglicht eine präzise Kontrolle der Abscheidungsrate, der Ionenenergie und des Niveaus der Ionenimplantation. 0040-49285 Reaktor ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen durchzuführen, von Dünnschichtabscheidung, keramische Herstellung, Ätzen und Halbleiterverarbeitung. Die Stärke der HF-Leistung, die präzise Regelung des Drucks und der Temperatur in den Kammern und der Bereich der möglichen Prozesse machen den Reaktor zu einem unschätzbaren Werkzeug für viele industrielle Anwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor