Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-53718 #293668979 zu verkaufen

ID: 293668979
E-Chuck.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-53718 ist ein Hochleistungs-Plasmaätzreaktor für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung. Der Reaktor nimmt eine Niedertemperatur-luftgekühlte Quelle und legt ein Hochspannungs-HF-Energiefeld an die Quelle an, wodurch eine Plasmaumgebung für eine Vielzahl von Ätzaufgaben geschaffen wird. Neben den Vorteilen erhöhter Durchsatz und verbesserter Ätzgleichmäßigkeit ist AMAT 0040-53718 auch für einfache Bedienung und einfache Wartung ausgelegt. Das Quellsystem des Reaktors basiert auf einem eingebetteten 3.5kW HF-Stromgenerator. Der Stromgenerator verfügt über eine hohe Frequenzstabilität und eine niederfrequente Welligkeit, die eine konstante Ätzleistung ermöglicht. Die Plasmakammer selbst ist aus zwei Kupferspulen aufgebaut, die beide in einer Aluminiumoxidhülle eingeschlossen und zur Maximierung der HF-Absorption mattiert sind. Diese einzigartige Materialkombination ermöglicht es dem Reaktor, sehr hohe Temperaturen unter Beibehaltung einer ausgezeichneten Vakuumintegrität zu erreichen. Das Innere der Kammer ist mit einer inneren vertikalen Wand und einem Zweispeisegaskrümmer ausgebildet, der eine Steuerung des Gasstroms ermöglicht und eine einfache Reinigung und Wartung ermöglicht. Zu den weiteren Merkmalen von APPLIED MATERIALS 0040-53718 gehören ein einfach zu bedienender Stromgenerator-Controller, eine wartungsarme Verschlussvorrichtung und ein integrierter Backofen für das Nachätzbacken. Die Steuerung ermöglicht dem Anwender die Programmierung von Betriebsparametern und kann auch zur Überwachung und Einstellung der Plasmaparameter in Echtzeit verwendet werden. Die Verschlussvorrichtung ist so ausgelegt, dass sie eine maximale Druckgleichförmigkeit über die Kammer gewährleistet und gleichzeitig die Kammer vor oxidativer Korrosion schützt. Schließlich bietet der Ofen Nachätzbacken für verbesserten Durchsatz und Gleichmäßigkeit. Insgesamt ist 0040-53718 ein zuverlässiger, leistungsfähiger Plasmaätzreaktor, der den Anforderungen der heutigen Halbleiterverarbeitungsindustrie gerecht wird. Von seinem hohen Frequenzstabilitätsmachtgenerator bis sein leichtes, um Innenbestandteile AMAT / APPLIED MATERIALS aufrechtzuerhalten, bietet 0040-53718 Reaktor eine ganze Ätzenlösung an, die zuverlässig und rentabel ist.
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