Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-56491 #293659985 zu verkaufen

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ID: 293659985
Wafergröße: 12"
Dual HE, 12" HDPCVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-56491 Reaktor ist ein Werkzeug für Ätz- und Abscheidungsprozesse in der Halbleiterindustrie. Diese Art von Reaktor ist eine thermische Plasmabearbeitungsquelle, die zum Abscheiden und Ätzen von Materialien in einer gasbasierten Reaktionskammer verwendet wird. AMAT 0041-56491 Reaktor wird in der Halbleiterherstellung, Forschung und akademischen Laboren, sowie für industrielle und Produktionsprozesse verwendet. Der Reaktor hat einen hohen Durchsatz, einen niedrigen Kosten-pro-Wafer-Ätzprozess, der ein qualitativ hochwertiges, wiederholbares und gleichmäßiges Ätzen bietet. Der Reaktor kann mit anderen Werkzeugen in einer Multi-Tool-Umgebung integriert werden, was eine Hochdurchsatz-Waferbearbeitung mit größerer betrieblicher Flexibilität ermöglicht. Zusätzlich verwendet der Reaktor eine proprietäre Mehrfrequenz-Plasmaquelle, um Material mit unterschiedlichen Ätzraten selektiv zu entfernen. Der Reaktor verfügt außerdem über eine Temperatur- und Prozessregelung, um die Lebensdauer des Wafers zu maximieren. Seine Mehrfrequenz-Hochfrequenz-Plasmaquelle reduziert auch die Variabilität von Wafer zu Wafer. Mit der Software Smart Etch Utility (SEU) ist der Reaktor in der Lage, Ätzratenprofile ganz spezifischen Kundenanforderungen anzupassen. Der Reaktor enthält einen elektrischen Kasten mit einer geschlossenen Leistungsregelung, um die Ungleichmäßigkeit der thermischen Verarbeitung sowohl auf als auch auf dem Wafer zu minimieren. Der Reaktor verwendet mehrere Zubehörteile, um seine Funktionalität zu erhöhen. Sie umfassen eine Vielzahl von Gaseinlassleitungen, Kammerabschirmungen zum Schutz des Futters vor dem Plasma und eine optionale Vakuumlastverriegelung. Diese Lastsperre ermöglicht den Einsatz des Werkzeugs für die Produktion mit hohem Durchsatz, Steigerung der Prozesseffizienz und des Durchsatzes. Angewandte Materialien 0041-56491 Reaktor verfügt auch über mehrere Methoden der Prozessüberwachung. Dazu gehört eine umfassende Diagnose sowohl der Plasma- als auch der mechanischen Leistungsfähigkeit des Reaktors. An jedem Punkt während des Prozesses kann der Benutzer die Einstellung und Parameter überprüfen und auch einen Datensatz aller Schritte im Prozess anzeigen. 0041-56491 Reaktor ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses Tool ist ideal für Ätz- und Abscheideprozesse, die präzise und konsistente Ergebnisse erfordern. Darüber hinaus ist der Reaktor mit anderen Werkzeugen kompatibel und verfügt über Zubehör für mehr Funktionalität und Prozessüberwachung.
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