Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-35112 #293746255 zu verkaufen

ID: 293746255
ESC Assembly Size: 195 mm Simple cathode.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-35112 ist eine hochmoderne Plasmareaktorausrüstung für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse. Dieses leistungsstarke Werkzeug spielt eine entscheidende Rolle bei der Herstellung integrierter Schaltungen, indem es eine kontrollierte Umgebung zum Abscheiden von dünnen Schichten, zum Ätzen von Mustern und zum Modifizieren von Materialeigenschaften im Nanoskalibereich bereitstellt. Im Kern des Reaktors befindet sich eine ausgeklügelte Plasmaerzeugungskammer, in der reaktive Gase erregt werden, um eine Plasmaentladung zu erzeugen. Dieses Plasma besteht aus einem stark ionisierten Gas mit einer Mischung aus Ionen, Elektronen und neutralen Spezies, die mit der Oberfläche des Substratmaterials interagieren, um eine Vielzahl von Oberflächenmodifizierungsprozessen zu ermöglichen. Der Reaktor AMAT 0090-35112 verfügt über ein robustes Vakuumsystem, das sicherstellt, dass die Kammer während der Verarbeitung auf dem gewünschten Druck gehalten wird. Diese Vakuumumgebung ist wesentlich, um Verunreinigungen zu beseitigen und die Reinheit der abgeschiedenen Folien zu gewährleisten. Das Gerät ist auch mit fortschrittlichen Gasförder- und Strömungsregelungsmechanismen ausgestattet, um die Zusammensetzung und Strömungsgeschwindigkeit der Prozessgase genau zu regeln. Eine der Schlüsselkomponenten des Reaktors ist die Hochfrequenz (HF) -Stromquelle, die zur Erzeugung und Aufrechterhaltung der Plasmaentladung dient. Die HF-Leistung wird sorgfältig abgestimmt, um die Plasmaeigenschaften für spezifische Prozessanforderungen wie Filmabscheidung, Ätzen oder Oberflächenreinigung zu optimieren. Der Reaktor weist auch mehrere Elektrodenkonfigurationen auf, um die Plasmagleichmäßigkeit und Energieverteilung über die Substratoberfläche anzupassen. Die Temperaturregelmaschine im Reaktor ermöglicht eine präzise Modulation der Substrattemperatur während der Verarbeitung. Diese Fähigkeit ist entscheidend für die Optimierung von Folienqualität, Haftung und Belastung. Das Werkzeug kann das Substrat für CVD-Prozesse (Chemical Vapor Deposition) auf hohe Temperaturen erhitzen oder für physikalische Aufdampfanwendungen (PVD) abkühlen. Der Reaktor ist mit fortschrittlichen Prozessüberwachungs- und Kontrollfunktionen ausgestattet, um eine konsistente und zuverlässige Leistung zu gewährleisten. Echtzeit-Diagnose-, Plasmaspektroskopie- und Endpunkterkennungsfunktionen ermöglichen es dem Bediener, Prozessparameter zu überwachen und Anpassungen im Handumdrehen vorzunehmen, um qualitativ hochwertige Filmeigenschaften zu erhalten. ANGEWANDTER MATERIALIEN 0090-35112 Reaktor ist mit Skalierbarkeit und Vielseitigkeit im Auge entworfen, ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Halbleiterherstellungsabläufe. Die Anlage kann eine Vielzahl von Substratgrößen und Materialien aufnehmen und eignet sich somit für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie, einschließlich Logikbauelementen, Speicherbauelementen und fortschrittlichen Verpackungstechnologien. Insgesamt stellt der Reaktor 0090-35112 eine hochmoderne Lösung für die Halbleiterherstellung dar, die Präzisionssteuerung, fortschrittliche Prozessfähigkeiten und robuste Leistung kombiniert, um die anspruchsvollen Anforderungen der modernen Produktion von integrierten Schaltungen zu erfüllen.
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