Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22355 Rev.003 #9204716 zu verkaufen

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ID: 9204716
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Poly chamber for DPS metal, 12" 2006 vintage.
AMAT 0190-22355 Rev.003 ist ein Reaktor, der hauptsächlich für den Einsatz in Vakuumsystemen entwickelt wurde. Es ist aus Edelstahl gefertigt und kann Drücke bis 10-6 Torr handhaben. Der Reaktionsraum des Reaktors ist zylindrisch und über eine mit einer vakuumdichten O-Ringdichtung versehene Gewindeverbindung nach außen abgedichtet. Der Reaktor ist an einer Seite mit zwei Öffnungen versehen, die 3K-Flansche enthalten, die zum Einleiten von Gas und erhitzten verdampften Materialien in die Reaktionskammer verwendet werden. Die Reaktionskammer des Reaktors ist mit Isoliermaterial ausgestattet, um eine gleichmäßige Temperatur im Inneren zu halten. Dadurch kann der Anwender mit verschiedenen Temperaturen von 25 ° C Raumtemperatur bis 1000 ° C mit elektrischen Hochtemperaturöfen arbeiten. Der Reaktor kann direkt mit anderen analytischen Instrumenten wie Massenspektrometern, Gaschromatographen und optischen Emissionsspektrometern verbunden werden, um ein voll funktionsfähiges Vakuumverfahren zu schaffen. Das Isoliermaterial des Reaktors enthält kunststoffbeschichtete Quarzplatten. Die Platten werden mit zwei den Reaktor umgebenden konzentrischen Spulen elektrisch beheizt. Dadurch wird eine homogene Erwärmung der Reaktionskammer gewährleistet, wodurch trotz des Vorhandenseins von Hot Spots eine gleichmäßige Temperatur über die gesamte Kammer erzeugt wird. Der Reaktor enthält auch eine Wand aus Aluminiumoxid, titanbeschichtetem Quarz, Graphit und Bornitrid, die den Reaktor vor erwärmten Dämpfen, Gasen und Materialablagerungen schützt. Der Reaktor ist in der Lage, mehrere Materialien wie Silan, Chlor und Fluorwasserstoff zu verarbeiten. Es hat auch die Fähigkeit, für viele verschiedene Anwendungen wie Oxidation und Plasmaätzen verwendet werden. Die Kammer hat keine Mindestgrößenanforderung und ist hoch einstellbar, was bedeutet, dass der Benutzer die Größe und Form entsprechend der Anwendung steuern kann. Das ungefähre Nutzvolumen beträgt 0,5 bis 2 Liter. Der Reaktor ist auch mit Temperaturregelungsmerkmalen ausgestattet, die eine genaue Regelung der Temperatur innerhalb der Kammer ermöglichen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS 0190-22355 Rev.003 ein hochqualitativer Reaktor, der für eine Vielzahl von Anwendungen ausgelegt ist. Seine einstellbare Kammer, homogene Temperaturregelung und mehrfache Materialverträglichkeit machen es zu einer idealen Wahl für jede Vakuumanwendung.
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