Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0200-06824 #293668873 zu verkaufen

ID: 293668873
Wafergröße: 12"
Cover ring for Ultima X, 12" Process: HDPCVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0200-06824 ist ein fortschrittlicher Plasmaätzreaktor für die Halbleiterherstellung. Die Ausrüstung bietet eine Lösung für die Definition kritischer Funktionen sowohl in der flachen Graben-Isolation (STI) als auch in der flachen Graben-tieferen Silizium-Ätzung. Die Prozeßkammer des Reaktors ist ein ganzmetallisches Design mit mehreren Elektroden, das es erlaubt, seine selektiven Ätzraten einzustellen, um überlegene Ergebnisse zu liefern. Seine fortschrittliche Plasmaquelle bietet eine ausgezeichnete elektrische Steuerung für wiederholbare Prozessleistung. Das System ist als kleine, abgedichtete Einheit ausgebildet, was zu reduzierten Geräuschpegeln und verbesserter Gerätesauberkeit führt. Die fortschrittliche Leistungs- und Steuerelektronik von AMAT 0200-06824 liefert Hochleistungspräzision. Dies zeigt sich an den Fähigkeiten der Drucksteuerungsmaschine, die es ihr ermöglichen, eine ausgezeichnete Prozesswiederholbarkeit aufrechtzuerhalten und das Ionenbeschießen der Kammerwände während des Betriebs zu minimieren. Der fortschrittliche HF-Generator des Reaktors ermöglicht auch eine maßgeschneiderte Ätzprofilformsteuerung. Der Endbenutzer genießt eine intuitive und einfach zu bedienende GUI (Graphical User Interface), die die Rezepterstellung und Einrichtung zu einem Kinderspiel macht. Mit einer breiten Palette von Prozessrezepten zur Verfügung, Benutzer des Reaktors sind in der Lage, ihre Prozessparameter für das Produkt zu optimieren, das sie versuchen, zu erreichen. Das Tool unterstützt auch wiederholbare Durchläufe und ist mit einem Integritätsmonitor ausgestattet, so dass Benutzer den Zustand des Elements überprüfen können. APPLIED MATERIALS 0200-06824 ist ein intuitives und effizientes Modell für die Herstellung hochwertiger Halbleitermaterialien. Mit seinen fortschrittlichen Plasmakontrollsystemen und einer breiten Palette von Prozessrezepten ermöglicht der Reaktor den Anwendern die präzise Steuerung von Ätzprofilen für überlegene Leistung. Seine grafische Benutzeroberfläche macht die Einrichtung und Rezepterstellung zu einer einfachen Aufgabe, während die Gesundheitsüberwachungsgeräte den Betreibern die besten Informationen zur Verfügung stellen, um fundierte Entscheidungen zu treffen.
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