Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-70935, 0240-70936 #9038984 zu verkaufen
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ID: 9038984
Wide body loadlocks pair for Centura
Chamber left welded: 0240-70935
Chamber right welded: 0240-70936
Basic indexers, Non-ENP right and left 0240-70903
Cassette platform, non tilt-out.
AMAT 0240-70935 und 0240-70936 massiv parallele Reaktoren sind spezialisierte Werkzeuge zum Abscheiden einer Vielzahl von Materialien auf Substraten mit der höchsten Durchsatzgeschwindigkeit und Wiederholbarkeit zur Verfügung. Konstruiert mit einer Reihe von parallelen Strömungsreaktoren, sind diese Systeme in der Lage, schnell und effektiv eine Vielzahl von ein- oder mehrschichtigen dünnen Folien auf flache, sowie strukturierte Substrate abzuscheiden. Dank des geringen thermischen Massendesigns können diese Reaktoren hochwertige Folien mit einer Vielzahl von Dicken, Größen und Auflösungen herstellen. Darüber hinaus werden alle diese Prozesse in einer präzisen, tieftemperaturbedingten Kammerumgebung durchgeführt, die zur Reduzierung von Defektraten und thermischen Schäden beiträgt. Dieser Reaktor hat auch Anwendungen sowohl für die Serienproduktion als auch für forschungsbasierte Experimente. ANGEWANDTE MATERIALIEN 0240-70935/70936 Reaktoren sind mit Steuerungen für die präzise, wiederholbare Herstellung unterschiedlichster Folien ausgestattet. Die Basiselemente des Systems sind die zwei unabhängigen Massenstromregler. Diese Regler ermöglichen eine präzise Kontrolle über die einzelnen Schichten, die abgeschieden werden, die Dicke jeder Schicht und die erforderlichen Temperatureinstellungen. Für die Abscheidung verwendet der Reaktor eine elektrothermische chemische Aufdampfmethode (auch bekannt als „Präzisions-elektrochemische Aufdampfung“). Dieses Verfahren bietet eine höhere Genauigkeit der Filmeigenschaften als andere Verfahren wie Sputtern oder physikalische Aufdampfung. Die Prozesskammer des Reaktors selbst ist mit einem 4-Wege-Ventil, einer Vakuumöffnung und einem Gasinjektor zur präzisen Steuerung des Abscheideprozesses ausgestattet, um sicherzustellen, dass nur qualitativ hochwertige, gleichmäßige Ablagerungen vorgenommen werden können. Damit die Filmeigenschaften stets konstant bleiben, wird auch der Kammerdruck sorgfältig geregelt. Darüber hinaus verfügt AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-70935/70936 über ein in sich geschlossenes elektrostatisches Lüftersystem, das während des gesamten Abscheidungsprozesses zuverlässige und wiederholbare Strömungen und Drücke gewährleistet. Um bei der genauen Überwachung des Prozesses zu helfen, wurde ein Echtzeit-Online-Dickenmonitor (ROTM) integriert, um genaue Filmdickenmessungen zu ermöglichen. Diese Reaktoren sind auch anpassbar, mit der Fähigkeit, zusätzliche Komponenten für zukünftige Erweiterungen einzubauen. Beispielsweise kann ein Regler zur Regelung von Ätzprozessen, Schnellglühen und erweiterten Ätzprozessen hinzugefügt werden. Unter diesen Gesichtspunkten können AMAT 0240-70935/70936 massiv parallele Reaktoren entweder als Einzel-, Stand-alone-Prozesse oder als Teil eines integrierten Multimodulsystems arbeiten. Die einzigartigen Eigenschaften dieser Reaktoren machen sie zum perfekten Werkzeug für diejenigen, die eine Vielzahl von ein- oder mehrschichtigen dünnen Filmen mit höchster Gleichmäßigkeit, Dicke und Auflösung in einer präzisen Umgebung mit niedriger Temperatur ablegen möchten.
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