Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #293620425 zu verkaufen
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ID: 293620425
PECVD System
Loader
Dry pump for each chamber
Robot
Scrubber
Heater exchanger
PC
Monitor
LCD Glass: 370 x 470
(2) Loadlock chambers
(2) Process chambers
(2) Transfer chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600 ist ein einziger Waferreaktor, der für die Hochdurchsatzproduktion verschiedener Halbleiterbauelemente wie moderne Wafer und Substrate ausgelegt ist. Dieser Mehrzweckreaktor wurde entwickelt, um vereinzelte, nicht-okloadete Wafer bis zu einem Durchmesser von 6 Zoll zu verarbeiten. Der Reaktor ist für die Aufnahme von zwei Einzelkassetten ausgelegt, wodurch zwei getrennte Prozesse gleichzeitig durchgeführt werden können. Das ausgeklügelte Prozesskammerdesign der Reaktoren ermöglicht eine gleichmäßige Verteilung von mehrdimensionalem hochdichtem Plasma (HDP). Diese Spezialkammer liefert auch bei wiederholbarer Zykluszeit wiederholbare und hochzuverlässige ertragsstarke Ergebnisse. Die AKT 1600 ist mit einem Mehrdüsenduschkopf ausgestattet, der für eine gleichmäßige Dielektrizität aller Substrate sorgt. Die Reaktorkammer ist mit einem Gasstromkrümmer und einem digitalen Sauerstoffmanometer ausgestattet. Diese Funktion bietet eine optimale Kontrolle über die spezifischen Prozessanforderungen jedes Prozesses. Der Reaktor ist so konzipiert, dass er in einer trockenen Umgebung betrieben werden kann, was eine saubere Prozessumgebung ermöglicht. Ein Mini-Sensor und eine ventilierte Turbopumpe versorgen jeden Prozess mit der richtigen Menge an Prozessgas und fügen den Reaktoren zuverlässige, wiederholbare Leistung hinzu. Der Prozessor ist ferner mit einem tiefenverstellbaren Bootshöhensystem ausgestattet, das eine optimale Abscheidegleichmäßigkeit bei unbelasteten Wafern gewährleistet. AMAT AKT1600 verfügt über eine Touchscreen-Benutzeroberfläche, die schnelle Änderungen und eine einfache Überwachung von Prozessparametern und Rezepten ermöglicht. Das Prozessmonitor- und -steuerungssystem trägt dazu bei, Ausfallzeiten zu minimieren und den Ertrag jedes Prozesses zu maximieren. Mit dieser Systemzuverlässigkeit und Wiederholbarkeit ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT1600 eine gute Option für die Hochdurchsatzproduktion von Halbleiterbauelementen.
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