Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #9364083 zu verkaufen
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ID: 9364083
PECVD System
Substrate size: 330 mm x 430 mm
Maximum substrate thickness: 4.0 mm
Mainframe
Gas panel
Power transformer
Heater exchanger
Remote service module
Vacuum pump.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600 Reaktor ist ein Plasmaätz-, Abscheide- und Glühgerät, das in der Materialbearbeitung verwendet wird. Mit seinen fortschrittlichen Nanotechnologie-Fähigkeiten wird dieser Reaktor für F & E-Projekte zur Abscheidung und Ätzung dünner Filme eingesetzt. AKT 1600 verwendet eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP), die hohe Temperaturen, energetische Ionen und andere Arten erzeugt, die verwendet werden können, um eine Vielzahl von Materialien zu ätzen. Diese ICP-Quelle wird von einem hochfrequenten HF-Netzteil gespeist, das eingestellt werden kann, um die dem Plasma zugeführte Leistung einzustellen. AMAT AKT1600 kann mit hohen Temperaturen zwischen 75 und 1.200 Grad Celsius arbeiten. APPLIKATIONSMATERIALIEN 1600 ist ein Doppelkammer, horizontal ausgebildeter Reaktor mit Lastschloßkammer. Die Lastschloßkammer dient zum Transport von Waferträgern zwischen den beiden Kammern, ohne die Kammer oder Vorrichtung einer äußeren Verschmutzung auszusetzen. Dadurch wird verhindert, dass Luft oder andere Verunreinigungen in die Bearbeitungskammer gelangen. AMAT 1600 ist in der Lage, eine Vielzahl von Folien wie Metalle, Polymere und Dielektrika abzuscheiden. Dies wird durch ein Gaseinspritzsystem erreicht, das Gas in das Aggregat einbringt, in Kombination mit der Quellleistung der ICP-Maschine, die die Dichte des abgeschiedenen Materials verändern kann. Ein fortgeschrittenes Heizelement, das eine gerichtete Sichtlinie (DLOS) erzeugt, ermöglicht das Glühen von abgeschiedenen Folien oder anderen Materialien in der Kammer und kann für Zeiten zwischen fünf Minuten und mehreren Stunden eingestellt werden. 1600 ist in der Lage, die Prozessraten und Zusammensetzung in Echtzeit zu steuern, wodurch sie präzise sein können. Diese Genauigkeit, kombiniert mit den fortschrittlichen Heizelementen, ermöglicht eine gute Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. Das Tool ist auch mit einer Vielzahl von Diagnosefunktionen ausgestattet, wie Kamera-Bildgebung und Infrarot-Bildgebung. Insgesamt ist der AMAT/AKT AKT1600 Reaktor ein fortschrittliches Werkzeug für die Materialbearbeitung. Es ist in der Lage, mit seinen ICP-Anlagen und DLOS-Heizfähigkeiten präzise Ätz-, Abscheide- und Glühergebnisse zu erzielen. Diese Eigenschaften geben ihm die Fähigkeit, starke Strukturen mit wiederholbaren Ergebnissen zu produzieren, um Qualität und Zuverlässigkeit für seine Endprodukte zu gewährleisten.
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