Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9379475 zu verkaufen
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ID: 9379475
Weinlese: 2008
PECVD System
G-SiO
(4) Heat chambers
(4) ADVANCED ENGERY RF-50SWC RF Generators
Heat exchanger
Scrubber
(4) DC Power supplies
Pump:
ALCATEL ADP 122L
EBARA A200W.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 ist ein fortschrittlicher chemischer Aufdampfreaktor auf Siliziumbasis (CVD). Die AKT 3500 wurde entwickelt, um hochdurchsatzstarke Beleuchtungs-, optische, Halbleiter- und optoelektronische Komponenten herzustellen. Es bietet sehr wiederholbare, zuverlässige und effiziente Verfahren zur Abscheidung von harten und langlebigen Materialien auf einer Vielzahl von Materialien von Glas bis Metall bis hin zu Halbleitermaterialien. AMAT AKT-3500 wurde entwickelt, um das Beste aus dem AKT proprietären Advanced Low Temperature (ALT) Prozess zu machen. Dieses Verfahren verwendet mehrere Ebenen von erhitzten Substraten und ermöglicht die Abscheidung von Silizium bei niedrigeren Temperaturen, was eine umfassendere Kontrolle des Abscheidungsprozesses ermöglicht. Die APPLIED MATERIALS 3500 ist in der Lage, eine ultradünne Abscheidung von Metall- und Nitridschichten zu erreichen, die für Anwendungen wie Lichtleiterplatten und optische Komponenten erforderlich sind. AKT AKT-3500 basiert auf einer neuartigen atmosphärischen Druckabscheidung. Es ist ein Gasstrom-Abscheidungssystem, basierend auf einem einzigartigen Design, das mehrere Abscheidungsquellen, präzise gesteuerte Gasströme und eine einzigartige elektrostatische Filtereinheit für das Wachstum von Filmen mit hohem Durchsatz verwendet. Dies ermöglicht eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schichten gegenüber herkömmlichen CVD-Systemen. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500 Maschine verfügt auch über ein neu entwickeltes sequentielles Verschlusssteuerungswerkzeug. Dadurch lassen sich mehrere Einzelschritte im Abscheideprozess mit erhöhter Genauigkeit und Kontrolle einstellen. Diese Kombination mit einer integrierten Heiz-/Kühlanlage bietet optimale Belastbarkeit und Durchsatz für empfindlich abgestimmte Prozessparameter. APPLIED MATERIALS AKT-3500 ist ein vielseitiger Reaktor, der eine Vielzahl von Abscheidekonfigurationen ermöglicht. Es ist ideal für optoelektronische Anwendungen wie LEDs, Lichtleiter, optische Komponenten und vieles mehr. Mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden und die Abscheidungseigenschaften zu kontrollieren, kann AKT-3500 Reaktor hervorragende Ergebnisse liefern.
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