Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380503 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 ist ein Mehrkammer-Plasmaätzreaktor, der eine präzise Ätzung von Geräten in einer Vielzahl von Anwendungen ermöglicht. Mit einer Reihe von Prozesskammern in der Größe von 10 "bis 20" besteht das Potenzial, Geräte bis zu einer maximalen Kammergröße von 19 "zu ätzen. Es bietet sowohl reaktive Plasmaätz- als auch Trockenätzfähigkeiten im gleichen Reaktor. Der Reaktor AKT 3500 verwendet je nach Ätzanwendung verschiedene Prozessgase, darunter Chlor, Brom, Fluor, Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Silan und Schwefelhexafluorid. Es verwendet auch Gleichstrom (DC) -Netzteile zur Erzeugung des Plasmas und verschiedener Magnetfelder und induktiv gekoppelte Plasmaquellen zur Lieferung der benötigten Energiezufuhr. Mit dem Plasma werden unerwünschte Materialschichten weggestreift oder tiefer in das Material einer Vorrichtung geätzt. Je nach Ätzanwendung kann AMAT AKT-3500 mit verschiedenen Reaktoraufbauten einschließlich Einzel-, Drei- und Vierkammern eingesetzt werden. Bei dem Einzelkammerätzverfahren handelt es sich um eine einzige separate Quelle des erforderlichen Prozessgases, während die Drei- und Vierkammern gleichzeitig mehrere Gasquellen nutzen können. Jede Kammer der APPLIED MATERIALS 3500 ist auch mit mehreren elektrostatischen und statischen Gasprobenentnahmeleitungen ausgestattet, um eine gleichmäßige, gleichmäßige Ätzung der Vorrichtung zu gewährleisten. AKT AKT-3500 Reaktor ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter Brand- und Gasabsperrsysteme sowie Notfilter und Entlüftungssysteme. Darüber hinaus umfasst das System eine Temperaturregelung und ein aktives Überwachungssystem, um sicherzustellen, dass der Prozess immer innerhalb der gewünschten Parameter läuft. AKT-3500 liefert zuverlässige und effiziente Ätzergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen. Es kann zur präzisen Ätzung an mittel- und großflächigen Geräten sowie zum Tiefätzen an kleinflächigen Geräten verwendet werden. Mit Komponenten, die beim gleichmäßigen Ätzen helfen, bietet dieser Reaktor Skalierbarkeit, um die Anforderungen verschiedener Branchen zu erfüllen.