Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380506 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 ist ein reaktiver Ionenätzreaktor der dritten Generation (RIE), der eine überlegene Ätzleistung bietet und eine breite Palette von Prozessfähigkeit ermöglicht. AKT 3500 ist ein paralleler Plattenätzer für die Herstellung von ultrahochpräzisen dielektrischen, Metall- und Hartmaskenfunktionen mit seiner proprietären planaren Gasverteilungstechnologie. Kundenspezifische horizontale und vertikale Gaskonfigurationen ermöglichen eine breite Palette von Prozessfähigkeit. Dazu gehören modernes Nassätzen, anisotropes Ätzen (RIE), tiefes Siliziumätzen und hinterschnittenes Ätzen von Metall- und dielektrischen Schichten. Darüber hinaus verfügt AMAT AKT-3500 über eine automatisierte Pad-Reinigung, um Reinigungszeiten zu reduzieren und die Ätzgleichmäßigkeit im Feld zu verbessern. 3500 verfügt über eine Lade-/Verriegelungsausrüstung, die schnelles Laden für einfache Rohrleitungswechsel ermöglicht. Der Reaktor verfügt auch über eine erweiterte Druckregelung, die eine Wiederholbarkeit einheitlicher Prozesse über einen längeren Zeitraum ermöglicht. Darüber hinaus ist AKT-3500 mit einem speziellen variablen Schichtsystem ausgestattet. Diese Einheit ermöglicht die Verwendung eines Werkzeugs für mehrere Schichten, wodurch die erforderliche Rüstzeit reduziert und eine zusätzliche Belastung zwischen den Schichten vermieden wird. Die Maschine ermöglicht auch eine verbesserte Prozessstabilität auf dünnen Schichten. Darüber hinaus verfügt AKT AKT-3500 über ein In-situ-Heizwerkzeug, das eine optimierte Ätztemperatur für eine verbesserte Prozesskontrolle und Genauigkeit ermöglicht. APPLIED MATERIALS 3500 hat sich als sehr zuverlässiges und benutzerfreundliches Maschinenstück erwiesen, das bei Halbleiterherstellern und Herstellern weltweit sehr beliebt geworden ist. Das Asset ist auch für eine einfache und intuitive Bedienung konzipiert, mit dem Ziel, die Effizienz und den Durchsatz zu erhöhen. Abschließend ist AMAT 3500 ein zuverlässiger und vielseitiger Reaktor, der es Anwendern ermöglicht, eine breite Palette von Ätzprozessen durchzuführen. Die patentierte planare Gasverteilungstechnologie bietet eine hervorragende Ätzleistung, während das Last-/Schleusenmodell, die variable Schichtausrüstung und das In-situ-Heizsystem die Leistungsfähigkeit und Anwendungsfähigkeit des Geräts weiter verbessern. Die Maschine ist auch benutzerfreundlich, einfach zu bedienen und sehr zuverlässig.
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