Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380507 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 Reaktor ist ein hochleistungsfähiger magnetisch begrenzter Elektronenzyklotronresonanz (ECR) Plasmareaktor, der zur zuverlässigen, effizienten und präzisen Abscheidung von Schichten und Beschichtungen auf einer Vielzahl von Substraten verwendet wird. Der Reaktor kann ein gleichmäßiges Plasmaätzen in einer Reihe von Kammergeometrien erreichen, wobei eine parametrische Flexibilität eine optimale Prozessoptimierung ermöglicht. In - situ durch den AKT 3500 Reaktor gebotene Plasmacharakterisierungsfähigkeit bietet starke Feedbackkontrollfähigkeit für die Prozessoptimierung und unveränderliche einheitliche Absetzung über den Bereich. AMAT AKT-3500 Reactor ist in der Lage, hochdichte, hochenergetische Plasmen zu produzieren, die für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen wie diamantartige Kohlenstoffbeschichtungen (DLC), dielektrische Schichten, Mehrschichtstapel und Breitbandoxidschichten verwendet werden können. Der Reaktor verfügt über einen plc-angetriebenen C-V-Roboterspeiser, der alle Prozessparameter wie Heizleistung, Gasströme und Abscheideraten steuern und überwachen kann, um die Zuverlässigkeit und Gleichmäßigkeit der Abscheidung zu gewährleisten. Die hochdichten Plasmen und die gleichmäßige Abscheiderate werden durch den Einsatz von dualen Magnetfeldsystemen in Kombination mit einer Elektronenheizeinrichtung ermöglicht. Die Dual-Magnetfeldsysteme von APPLIED MATERIALS 3500 Reactor befinden sich in einer Kammer, die durch ein Helium-Kühlsystem gekühlt wird, um eine stabile Arbeitsumgebung zu erhalten. Das Magnetfeld wird von zwei spiralförmig gewickelten planaren Induktoren erzeugt, die eine ECR-Zone bilden. Diese ECR-Zone ermöglicht einen weiten Dynamikbereich unter Elektronentemperaturbedingungen, der der effizienten Herstellung eines hochdichten, energetischen Plasmas sehr förderlich ist. Die Elektronenheizeinheit 3500 Reactor ist eine Mikrowellenleitermaschine, die mit der ECR-Zone verbunden ist. Die Mikrowellen werden durch das HF-Subsystem erzeugt und strategisch innerhalb der Kammer positioniert, was eine maximale Energiedichte für eine hocheffiziente Plasmaproduktion ermöglicht. Die übrigen Verarbeitungssysteme, wie das Gaszufuhrwerkzeug, sind so ausgelegt, dass ein ununterbrochener und konsistenter Prozess während der gesamten Dauer des Abscheideprozesses gewährleistet ist. AKT-3500 Reaktor ist eine zuverlässige, effiziente und präzise Abscheidung, die in der Lage ist, eine breite Palette von hochwertigen Schichten und Beschichtungen zu produzieren. Der Reaktor weist eine In-situ-Plasmacharakterisierung für eine leistungsstarke Rückkopplungssteuerung und ein geschlossenes Kühlmodell für eine konstant stabile Abscheidungsumgebung auf. Mit seiner parametrischen Flexibilität und fortschrittlichen Prozesskontrolllösungen bietet AKT AKT-3500 Reactor höchste Prozessoptimierung und gleichmäßige Abscheidung für jede Abscheidungsanwendung.