Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380509 zu verkaufen

ID: 9380509
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 reactor ist ein Mehrfachprozess-, Mehrzweck-, dynamisches, flexibles, hochtemperaturchemisches Dampfabscheidungssystem (CVD), das für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ermöglicht eine präzise Kontrolle der Prozessbedingungen und kann verwendet werden, um Folien für eine Reihe von Anwendungen wie Smartphone-Anwendungen, neue Anzeigetechnologien, Solarzellenfertigung und Dünnschichtdetektion abzulegen. AKT 3500 ist mit einer dreizonigen mehrstufigen CVD-Kammer ausgelegt. Die Kammer ist mit einzelnen Mehrfachheizkomponenten ausgestattet, die eine unabhängige Wärmesteuerung jeder Zone ermöglichen. Dies ermöglicht unterschiedliche Prozesstemperaturen für unterschiedliche Folien oder Kombinationen von Folien. Es ermöglicht auch eine Hochtemperaturglühung von dielektrischen oder anderen Halbleiterfilmen, wodurch die Filmhomogenität erhöht wird. AMAT AKT-3500 nutzt fortschrittliche Diagnostik zur Echtzeit-Überwachung von Prozessparametern wie Filmdicke, Verteilung, Kristallstrukturen und Sauberkeit. Dies gewährleistet hohe Produktionsausbeuten bei minimalen Ausschüssen. Der Reaktor ist auch mit einem Multi-Gas-Einlasssystem ausgestattet, so dass flexible Einlassgaszusammensetzung einheitliche Filme mit hoher Prozesseffizienz zu schaffen. Software an Bord des Reaktors bietet seinen Anwendern eine breite Palette von Echtzeit-Prozessrezepten. Dies kann nach den Prozessanwendungen und Waferanforderungen angepasst und abgestimmt werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN AKT-3500 verfügt auch über eine ganze Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Es ist mit einem automatischen, berührungslosen Wafer-Transfer-System zur Verringerung der Partikelverschmutzung ausgelegt. Es kommt auch mit einem erweiterten CVD-Rückseite mit Verriegelungen und Sicherheitsabschirmungen gesichert. Dies ermöglicht eine sichere und sichere Konzentration gasförmiger Gemische während des CVD-Prozesses. Abschließend ist der AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500 Reaktor so konzipiert, dass er die Prozessbedingungen zuverlässig, flexibel und präzise kontrolliert. Es ist eine leistungsstarke und vielseitige Ausrüstung, die verwendet werden kann, um Folien für eine Reihe von Anwendungen abzulegen und gleichzeitig hohe Produktqualität und Erträge zu gewährleisten.
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