Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380517 zu verkaufen

ID: 9380517
PECVD System.
AKT, Inc. (AMAT) AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 reactor ist ein vielseitiges Plasmaätz- und Abscheidungsgerät, das für verschiedene Halbleiterherstellungsprozesse verwendet wird. Dieses Werkzeug wird üblicherweise zum reaktiven Ionenätzen (RIE), Ionenmahlen und zur chemischen Dampfabscheidung (CVD) verwendet. Dieses System ist eine Hochvakuumkammer, die eine Querschnittsfläche und ein Arbeitsvolumen von ca. 25 cm kubisch bereitstellt und unter einem Vakuum von ca. 10-7 Torr arbeitet. Die gesamte Einheit ist computergesteuert und enthält verschiedene Prozessparameter wie Druck, Temperatur, Molekülfluss, Zeit, Ionenenergie, Elektronentemperatur und Gasspezies. Um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen, verwendet der AKT 3500 Reaktor fortschrittliche Isoliermaterialien wie Aluminiumoxid und Edelstahl, um Kontaminationen aus der Umwelt zu verhindern und eine wiederholbare Kontrolle und Reaktion zu gewährleisten. Die Kammer enthält auch eine Hochleistungsantenne, die zur Erzeugung eines Hochleistungs-Plasmastrahls verwendet wird. Diese Antenne wird von der Maschine gesteuert, um ein präzises Plasmaätzen und eine scharfe Abscheidung von Materialien auf der Halbleiterscheibe zu ermöglichen. Weiterhin kann der Reaktor einen Temperaturbereich von -25 ° C bis 250 ° C bereitstellen. Sein fortschrittliches Gasheizwerkzeug hilft, eine schnelle und genaue Verarbeitung zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet AMAT AKT-3500 verschiedene Arten der Abscheidung, einschließlich Niederdruck chemische Dampfabscheidung (LPCVD), Sputtern, Verdampfen und Plasma verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD). Die Anlage ist vollständig mit einem automatischen Kassetten-zu-Kassetten-Modell integriert, das ohne manuelle Übertragung kontinuierlich eingesetzt werden kann. Diese Funktion kann das Be- und Entladen vereinfachen und die Produktionseffizienz verbessern. Die beeindruckende Vielseitigkeit und Genauigkeit von 3500 machen es besonders geeignet für den Einsatz in feiner Linienstruktur und fortschrittlicher Geräteherstellung. Es ist weit verbreitet in der Entwicklung integrierter Schaltungen (ICs) und ist eine kostengünstige Lösung für Halbleiterhersteller. Darüber hinaus ist das Gerät mit robusten Sicherheitsstandards ausgelegt und verfügt über mehrere Funktionen wie Übertemperaturregelung, Drucksensor und Alarmanlage. Insgesamt liefert APPLIED MATERIALS 3500 zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse und ist vielseitig genug für das Ätzen und Abscheiden unterschiedlichster Materialien.
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