Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380520 zu verkaufen

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 ist ein Einzel-Wafer-Spin-Etch-Reaktor, der speziell zum Ätzen großer geätzter Strukturen in wässrigen Medien entwickelt wurde. Der Reaktor ist in der Lage, komplizierte Muster und präzise Merkmalsformen zu erzeugen. AKT 3500 wurde optimiert, um kleine und große geätzte Strukturen sowie gleichmäßige Ätzanwendungen mit hohem Durchsatz zu ätzen. Dazu gehören Konstruktionen mit positiven und negativen Photoresist-Merkmalen und mikrokanalisierten Strukturen. Das einzigartige Design von AMAT AKT-3500 ermöglicht robuste und wiederholbare einheitliche, konsistente Ätzergebnisse. Es bietet eine große Kontrolle über die Ätzrate und Selektivität sowie genaue Formelementdefinition und Tiefenkontrolle. Das Verfahren weist auch eine ausgezeichnete Elektronenstrahl-Maskenranddefinition und Substrattemperaturregelung während des Ätzprozesses auf. Der Reaktor verwendet als Ätzmittel eine Lösung auf Säurebasis. Dies kann von einer wässrigen Lösung von verdünntem HCl bis zu einer komplexeren Lösung reichen. Der Ätzprozeß wird durch Aufbringen des Photolacks auf das Substrat eingeleitet, das dann auf die Platte aus AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500 gesponnen wird. Diese wird dann für einige Sekunden ultraviolettem Licht hoher Intensität ausgesetzt, wodurch der Photolack auf dem Substrat haften kann. Anschließend wird das Ätzmittel auf die Platte gegeben und der Wafer in dieser Lösung für einen bestimmten Zeitraum gesponnen. Während dieser Zeit reagiert das Ätzmittel mit dem Photolack und entwickelt die gewünschte Topographie auf dem Substrat. Nach Beendigung des gewünschten Verfahrensschrittes wird die Platte mit DI-Wasser gespült und das Substrat trocken gesponnen. Danach wird der getrocknete Photolack entfernt und das Substrat auf die gewünschten Ergebnisse untersucht. Der gesamte Prozess ist recht einfach und kann mit minimalem Eingriff des Bedieners abgeschlossen werden. AKT AKT-3500 Reaktor ist ein großartiges Werkzeug zum Ätzen von Merkmalen auf verschiedenen Substraten. Es bietet genaue und konsistente Ätzzeiten, die hochpräzise Ergebnisse mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit ermöglichen. Die Fähigkeit, die Ätzmittelkonzentration zu ändern und die Prozessparameter anzupassen, ermöglicht es dem Benutzer, verschiedene Materialien in verschiedenen Dicken zu ätzen, was es zu einem großartigen vielseitigen Werkzeug zum Ätzen macht.