Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380521 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500 ist ein von AKT konzipierter und hergestellter Einwafer-Niederdruckreaktor mit chemischer Dampfabscheidung (LPCVD). Mit diesem Reaktor werden mehrschichtige Dünnschichten aus Siliziumoxiden, Nitriden und anderen Materialien auf die Oberfläche eines Siliziumwafers abgeschieden. Das Gerät besteht aus zwei großen Teilen: einer Gasleitungs-/Ventilkomponente und einer Prozesskammer. Die Gasleitungen/Ventile-Komponente besteht aus kritischen Sensoren, Ventilen und Steuerungen, um den Fluss von Prozessgasen in das System zu steuern. Die Prozesskammer aus Edelstahl umfasst zwei Elektronenstrahlquellen mit unabhängiger Leistungssteuerung, 1 HF-Stromquelle und Temperaturregelung für die gesamte Kammer. AKT 3500 hat einen Prozesskammertemperaturbereich von 120 ° C - 900 ° C und ist bei atmosphärischen oder reduzierten Drücken betriebsfähig. Es hat einen Wafergrößenbereich von bis zu 8 "Durchmesser und seine maximale Prozesslast beträgt 7 lbs.Das Gerät ist ferner für die Handhabung spezifischer Abscheidung über Kopf ausgelegt und läuft bei maximal 80 W/in2. Es verfügt über verschiedene Datenkommunikationsprotokolle wie Ethernet, RS-232 und RS-485 für den Fernzugriff. AMAT AKT-3500 verfügt über eine hochpräzise Plasmareinigungsfunktion, die dazu beiträgt, flüchtige Partikel zu trennen und zu transportieren, um prozessinduzierte Verschmutzungen zu reduzieren. Es wurde entwickelt, um JEDEC-Regeln für die Herstellung eines zuverlässigen und wiederholbaren Abscheidungsprozesses für Hochleistungsanwendungen wie DRAM, Flash-Speicher und Logic zu folgen. Die Maschine ist auch mit einer umfangreichen Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich Interlocks, Bodenfehlerunterbrechungen und Alarmen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS 3500 ein fortschrittlicher Reaktor, der präzise und konsistente Ergebnisse liefert. Es wurde streng getestet und bewiesen, dass es in Produktionsumgebungen optimal funktioniert. Seine Eigenschaften und sein modernes Design machen es zur idealen Wahl für Anwendungen, die hochwertige und zuverlässige Ergebnisse erfordern.