Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 401493LCM1 #9384031 zu verkaufen

ID: 9384031
Wafergröße: 12"
PVD System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 401493LCM1 ist eine stationäre Metallkammer, die eine spezifische Artkonzentration in Gas-, Flüssigkeits- und/oder Festphasen erhöht. Es besteht aus einem äußeren zylindrischen Stahlgehäuse, vier Edelstahl-Reaktionsrohren und einem Keramikrohr, die alle in einer sauerstofffreien, heißen Zonenatmosphäre enthalten sind. Die etwa 7 Fuß hohe Kammer ist mit zwei temperatur- und druckgesteuerten Heißzonen, einem Wärmeleitfähigkeitsdetektor (TCD) zur Überwachung von Prozessgasen und einem Massenstromregler (MFC) zur Steuerung des Prozessflusses verbunden. Die Reaktionsrohre aus Edelstahl sind innerhalb des zylindrischen Gehäuses aufgehängt und mit inerter Keramik ausgekleidet. Die keramisch ausgekleideten Rohre reduzieren Verschmutzungen und korrigieren unerwünschte Schwankungen der heißen Zonentemperaturen. In die keramischen Rohrwände eingebettete Heizkörper dienen der Aufrechterhaltung eines homogenen Vakuums und der Kammertemperatur. AMAT 401493LCM1 nutzt eine Grenzfläche zwischen der Kammer und der erwärmten Zone, die die Injektion des Prozessgases ermöglicht. Das Prozessgas verteilt sich gleichmäßig in der Kammer und gewährleistet eine gleichmäßige Konzentration der Spezies für homogenes Wachstum. Die beheizten Zonen erreichen jeweils Temperaturen bis zu 700C und werden vom TCD manipuliert. Das MFC regelt das Prozessgas über einzelne Einlassregler und der Druck des Prozessgases wird im Bereich von 10 bis 15 psi konstant gehalten. APPLIKATIONSMATERIALIEN 401493LCM1 besteht aus korrosions- und oxidationsbeständigen Materialien und ist damit ein vorteilhafter und zuverlässiger Reaktor für einen erweiterten Bereich kontinuierlicher Abscheideprozesse. Typ 304 Edelstahl leitet das Innere des Reaktionsrohrs und sorgt für eine effiziente Schutzatmosphäre. Und die Kammer ist mit Druckwerten bis zu 15 PSIG ausgelegt, um die gewünschte Produktleistung zu gewährleisten. Insgesamt ist 401493LCM1 ein Drei-Zoll-Durchmesser, hocheffizienter Reaktor, der die Reaktorleistung verbessert und eine verbesserte Produktqualität gewährleistet. Es ist eine ideale Wahl für das Abscheiden von Hartmasken, dünnen Filmen, mehrschichtigen Werkzeugen, Metallisierung und einer Vielzahl anderer verwandter Technologien. Dieser Reaktor ist einfach zu warten, reduziert Ausfallzeiten und ermöglicht einen reaktionsschnelleren, produktiveren und kostengünstigeren Herstellungsprozess.
Es liegen noch keine Bewertungen vor