Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 7710 #9095871 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 7710 ist eine Art von CVD-Ausrüstung (Chemical Vapor Deposition), die in der Halbleiterindustrie für das Wachstum von Materialien auf Substraten verwendet wird. AMAT 7710 ist ein thermisches CVD-System mit einem Wafer, das die anspruchsvollsten Anforderungen an die Abscheidung mit präziser Kontrolle und Wiederholbarkeit der Prozessparameter erfüllt. Qualität, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der erhaltenen Folien sind in der Industrie beispiellos. Das Gerät verfügt über eine Quarzreaktorkammer, die einen einzelnen 4 "- oder 8" -Wafer aufnehmen kann und das Czochralski-Verfahren kann bis zu zwei 8 "-Wafer aufnehmen. APPLIED MATERIALS 7710 CVD Maschine bietet eine integrierte Strömungssteuerung mit zwei unabhängigen Gasleitungen, eine Leitung für Trägergas mit Präzisionsmassenstromregler und die andere für Dotierstoffvorläufer mit unabhängigem Strömungsregler. Das Werkzeug ist mit mehreren Prozessparametern ausgestattet, darunter Temperatur, Druck, Reaktantenströme, Radiometer und HMDS zur Reinigung sowie zwei voreingestellte benutzerdefinierte Rezepturen. Die Prozesskammertemperatur kann auf Temperaturen bis zu 50 ° C für Niedertemperaturabscheidungsbedarf und bis zu 950 ° C eingestellt werden. Die Quarzkammer von 7710 bietet eine schnelle thermische Rückgewinnung und eine breite Palette von Prozessrezepten. Eine integrierte Wafer-Temperaturregelung ermöglicht eine enge Steuerung der Wafer-Oberflächentemperaturen und sorgt für gleichmäßige Folien über den gesamten Wafer. Das Asset kann auch so programmiert werden, dass es pausiert und die Ablagerung fortsetzt, um Ungleichmäßigkeit oder Sättigung während des Filmwachstums zu reduzieren. Darüber hinaus entfällt durch die Nähe des Substrats zu den Quellmaterialien der Bedarf an zusätzlichen Plasmasystemen. Das CVD-Modell verfügt auch über Prozesssteuerungssoftware, die eine Echtzeit-Prozessüberwachung und -steuerung bietet. AMAT/APPLIED MATERIALS 7710 ist für Zuverlässigkeit konzipiert und Wartung wird mit der Wiederholbarkeit von Komponenten für einen schnellen und einfachen Austausch leicht gemacht. Sicherheitsfunktionen wie vollautomatische Türverriegelungen, Alarme und Notabschalter sorgen dafür, dass die Ausrüstung sicher und sicher bleibt. Das System ist zudem äußerst effizient bei geringem Gasverbrauch und die Quarzkammer fängt Gasnachwirkungen ein, um eine qualitativ hochwertige Abscheidung zu gewährleisten. AMAT 7710 ist ideal für Forschung und Entwicklung und seine Zuverlässigkeit, Qualität und Wiederholbarkeit machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung einiger der präzisesten und anspruchsvollsten Halbleiterbauelemente.