Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #69375 zu verkaufen

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ID: 69375
Wafergröße: 4"-6"
Epi Reactors, 4"-6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor ist ein fortschrittliches CVD-Gerät (Chemical Vapor Deposition), das zum Abscheiden dünner Filme aus verschiedenen Materialien auf Substraten verwendet wird. Der Reaktor wurde entwickelt, um eine hochpräzise Herstellung von Dünnschichten mit einem breiten Repertoire an Materialien wie Metallen, Karbiden, Fluoriden, Nitriden, Oxiden und Verbundhalbleiterverbindungen zu ermöglichen. Das Hauptmerkmal von AMAT 7810 RP Reactor ist die einfache Bedienung und Wartung. Es verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche und eine Reihe automatisierter Funktionen, die Prozesse wie Rezeptschritte, Druckregelung, Temperaturregelung und Massenflussregelung vereinfachen. Darüber hinaus verfügt das System über eine In-situ-Gasreinigungseinheit, die eine Substratverschmutzung minimiert. APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor bietet durch sein flexibles Prozesskammerdesign eine außergewöhnliche Vielseitigkeit. Es kann eine breite Palette von Materialien aufnehmen, einschließlich Nanomaterialien und Substratgrößen von Zoll bis Mikrometer. Darüber hinaus ermöglicht sein modularer Aufbau die Modernisierung des Reaktors während eines individuellen Prozesszyklus und eignet sich somit gut für kontinuierliche Prozessverbesserungen und für Rapid Prototyping. Der Reaktor weist zwei separate Reaktionskammern auf - eine Einkammer-Prozessmaschine und ein Zweikammer-Prozesswerkzeug. Das Einzelkammerprozessgut ist für die einschichtige Abscheidung ausgelegt, während das Zweikammerprozessmodell für die Abscheidung von mehrschichtigen Strukturen ausgelegt ist. In beiden Ausführungen weist der Reaktor eine große Lastschloßkammer, eine Niederdruck-Lastschloßkammer und eine Vakuumkammer auf. Der Reaktor bietet auch eine präzise thermische Steuerung von Raumtemperatur bis über 1000 ° C. 7810 RP Reactor ist mit hochempfindlichen Temperatur-, Druck- und Durchflussmessern ausgestattet, zusätzlich zu einem fortschrittlichen SPS-Controller für präzise und automatisierte Prozesssteuerung. Das Gerät verfügt auch über Endura-Überwachungssoftware mit vollständigen Datenerfassungs- und Berichtsfunktionen, die es Anwendern ermöglicht, laufende Prozesse genau zu überwachen. Darüber hinaus bietet der modulare Aufbau des Reaktors Möglichkeiten zur Wärmeabsaugung und Wärmerückgewinnung, die Prozessoptimierung und Kosteneinsparungen ermöglichen. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP Reactor ein zuverlässiges, benutzerfreundliches Dünnschichtabscheidungssystem, das eine breite Palette von Materialien und Substratkonfigurationen bietet. Seine fortschrittlichen Steuerungssysteme und automatisierten Prozesse reduzieren den Eingriffsbedarf des Bedieners, während seine umfangreichen Überwachungsfunktionen es Anwendern ermöglichen, laufende Prozesse genau zu verfolgen. Dank der modularen Bauweise und der Wärmerückgewinnungsoptionen bietet das Gerät zudem Flexibilität und ist somit eine ideale Wahl für die hochpräzise Dünnschichtherstellung.
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