Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 RP #9804 zu verkaufen
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ID: 9804
Reactor
RP capable
Gas panel and gas lines
Brooks AFC
Heat exchanger and CXE extended water skid.
AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 RP (Rapid Processing) reactor ist ein innovativer Batch-Reaktor, der für die schnelle Halbleiterwaferbearbeitung verwendet wird. Es ist für Front-End-Wafer Herstellung und Herstellung Prozessentwicklung konzipiert. Das Gerät verfügt über einen halbautomatischen, kontinuierlichen Kassetten-zu-Kassetten-Prozess, der bis zu 240 150mm oder 150 200mm Wafer pro Charge aufnimmt. Die diskreten Prozesskomponenten wie Chargenlader/Entlader, Ofen, Rollläden und Kühler sind modular konfigurierbar und können entsprechend den genauen Prozessanforderungen des Anwenders kombiniert werden. Das System wird mit dem AMAT vollen Gefolge von Oblatenverarbeitungswerkzeugen einschließlich fortgeschrittener Oblatenreinigungssysteme und einer genauen, schnelllaufenden Oblatenzentriereneinheit ausgestattet, die Oblatenzeiten des Ladens/Entleerung reduziert. Es verfügt auch über eine In-situ-Partikel-Messmaschine, die eine schnelle Analyse von Wafer-Reinigungen ermöglicht. AMAT 7810 RP ist für eine präzise Temperaturregelung und präzise Prozesssteuerung ausgelegt. Das Tool nutzt PID-Steuerungsfunktionen, um ein konsistentes Temperaturprofil entlang der Ofenzone und eine präzise Steuerung der Reaktandenzugabe zu ermöglichen. Es verfügt auch über einen schnellen Heizregler, der Waferübergangszeiten reduziert und einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. Die erweiterte Steuerung liefert Prozessparameter (Temperatur- und Reaktantkonzentrationen), die automatisch gespeichert werden und zur Prozesswiederholbarkeit und -entwicklung verwendet werden können. Das Modell bietet außerdem eine umfassende Datenüberwachung in Echtzeit, sodass Prozessingenieure den Prozess überwachen und regeln können. APPLIED MATERIALS 7810 RP ist ein fortschrittliches Bearbeitungswerkzeug, das für eine effiziente und leistungsstarke Halbleiterverarbeitung unerlässlich ist. Mit seiner einfach zu bedienenden Schnittstelle und der präzisen Steuerung ist es ideal für die volumenreiche und qualitativ hochwertige Prozessentwicklung.
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