Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 7810 #293827237 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 Reactor ist eine Hochleistungs-Abscheideausrüstung, die zur Abscheidung hochwertiger dünner Filme auf großen Siliziumsubstraten entwickelt wurde. Es verwendet plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD), um es Herstellern zu ermöglichen, Schichten aus SiO2, SiCN und anderen dielektrischen Materialien auf Silizium, Quarz oder Metalloberflächen abzuscheiden. AMAT 7810 kann 10nm Linienbreiten mit fast atomarer Präzision erreichen. Das System ist flexibel genug, um große Mengen an Material mit hohen Raten abzuscheiden oder sehr dünne Schichten mit totaler Gleichmäßigkeit abzuscheiden. ANWENDUNGSMATERIALIEN 7810 Der Reaktor ist als integrierte Bearbeitungskammer ausgebildet und enthält eine 120 Kubikzentimeter große Prozesskammer mit drei unabhängig konfigurierbaren Quellmodulen. Die Quellmodule liefern Plasmen von Reaktantengasen zur Induktion und Kontrolle der Abscheidung. Diese Abscheidungseinheit kann auch zum Sputtern, Entwickeln und Glühen verwendet werden. Die Kammer ist in zwei verschiedene Metrologiefächer unterteilt, die jeweils einen unabhängigen Satz von Steuerparametern aufweisen. 7810 verfügt auch über ein integriertes Online-Massenspektrometer, das eine genauere Kontrolle der Reaktantgaszusammensetzung ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS 7810 Reaktor verwendet einen strahlenden Kühlkörper, um Wärmeenergie effizient abzuführen, und ein paralleles elektrostatisches Plattenfutter mit HF-Ablenkplatten, um planarisierte Substrate zu erhalten. Die Maschine ist in einem Edelstahlgerüst eingeschlossen und gewährleistet einen reibungslosen und konsistenten Vakuumbetrieb. Der AMAT 7810 Reaktor hat eine hohe Leistungsdichte, so dass große Substrate bei hohen Temperaturen und kürzeren Zykluszeiten abgeschieden und geätzt werden können. APPLIED MATERIALS 7810 Reactor bietet verbesserte Leistung mit einer optimierten Prozesssteuerung, so dass der Benutzer mehrere Rezepte und Prozessabläufe schnell einrichten kann. Das Werkzeug ist in der Lage, die Prozessparameter mit Mikron-Level-Präzision zu steuern, und kann einen unglaublich hohen Durchsatz bei minimalem Eingriff des Bedieners erreichen. Insgesamt ist 7810 Reactor ein extrem leistungsfähiges, vielseitiges, wartungsarmes und kostengünstiges Abscheidewerkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dank seiner Präzision und Fähigkeiten ist es perfekt für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, darunter Flachbildschirme, Speichergeräte und optoelektronische Komponenten.