Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 7811 #9095878 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 7811 ist ein Mehrraum, Hoch-Temperaturvakuumbrennofen hat vorgehabt, verschiedene in einer Prozession gehende Hoch-Temperaturthermaloperationen wegen der Halbleiterherstellung durchzuführen. Das Gerät ist mit mehreren Heizelementen ausgestattet, um Temperaturen bis zu 1400 ° C zu erzeugen, die über einen Bereich von ± 2,5 ° C computergesteuert genau geregelt werden können. Dieses fortgeschrittene Werkzeug besteht aus einer Hauptreaktionskammer mit einer Hilfsunterkammer (dem Prozeßwerkzeug), die durch eine bewegliche Tür verbunden ist, um den Zugang zu den Wafern während der Substratübergabe und der Beladung zu ermöglichen. Die Reaktionskammern werden unter einer konstanten Stickstoffatmosphäre gehalten, während das Prozeßwerkzeug typischerweise mit Argon gefüllt wird. Der Ofen ist ferner mit einer Gaseinspritzeinrichtung versehen, die in der Lage ist, der Prozesskammer verschiedene Vorläufergasgemische zuzuführen; Ermöglichen von Prozessen wie Abscheidung, Oxidation, Glühen und Kerbung. AMAT 7811 beinhaltet ein modernes Heizsystem mit mehreren Elementen, die sich sowohl innerhalb als auch außerhalb der Reaktionskammer befinden. Diese Einheit verfügt über eine unabhängige Hauptzone sowie einstellbare Vor- und Nachheizungen, wodurch das Instrument insgesamt drei Heizzonen erhält. Dies ermöglicht ein präzises Temperaturmanagement und eine gleichmäßige Erwärmung von Wafern und Prozessen. Das Werkzeug ist auch mit einem Quarz-Viewport ausgestattet, der einen direkten Blick auf den Fortschritt des Wafers bietet, indem es einen visuellen Zugang zur Heizkammer ermöglicht. Das Instrument ist mit mehreren Alarmen und Sicherheitsvorrichtungen ausgestattet, um die Sicherheit des Bedieners und der Ausrüstung zu gewährleisten. Unter diesen Sicherheitsvorrichtungen ist eine Deckelabdeckung und eine Rückwand, um versehentliche Exposition gegenüber hohen Temperaturen zu verhindern. APPLIED MATERIALS 7811 umfasst auch zwei unabhängige Vakuumpumpen, die sowohl großflächige als auch kleine Verarbeitungsvorgänge ermöglichen. 7811 ist ein hoch fortgeschrittenes Werkzeug für in einer Prozession gehende Hoch-Temperaturthermaloperationen und ist ein integraler Bestandteil von den meisten Halbleiterherstellungsprozessen. Mit seinen in der Kammer befindlichen und einstellbaren Heizelementen, einer gut gestalteten Gaseinspritzmaschine, mehreren Alarmen und Sicherheitsvorrichtungen und seinem Quarz-Viewport-Tool liefert das Instrument zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für jeden Halbleiterherstellungsprozess macht.