Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS (8) Chambers for Endura II #293669863 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293669863
AMAT (APPLIED MATERIALS) Endura II ist ein hochentwickelter Plasmareaktor, der für eine breite Palette von Plasmabehandlungen, Abscheidungsprozessen, Oberflächenmodifikationen und anderen spezialisierten Anwendungen entwickelt wurde. Der Reaktor besteht aus 8 Einzelkammern, die individuell auf spezifische Bedürfnisse unterschiedlicher Branchen ausgelegt werden können. Jede Kammer ist so ausgelegt, dass sie eine bestimmte Temperatur und einen bestimmten Druck aufrechterhält, um eine gewünschte Wirkung auf das bearbeitete Material zu erzielen. Die erste Kammer in AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II ist eine ringförmige Induktionsspulentemperaturkammer. Diese Kammer ist für eine präzise Temperaturregelung ausgelegt, um eine optimale Produktivität zu gewährleisten. Ein Schwermetallinduktor begrenzt die Strahlungswärmeübertragung und ist von einem dielektrischen Schild umgeben, um Wärmeaustritt zu verhindern. Diese Kammer dient zur Vorbehandlung von Materialien wie Glühen, Ätzen und Vorabscheiden. Die zweite Kammer ist ein Hochdruck-Direktplasmagenerator. Dieser Reaktor soll positive Ionen erzeugen, die im Prozess der Oberflächenmodifikationen hochreaktiv und nützlich sind. Die Ionendichte innerhalb der Kammer ist sehr hoch und erzeugt eine gleichmäßige Entladung. Diese Kammer dient zur Behandlung von Substraten wie Ionenfräsen, Hardmaskenätzen und Sputterabscheidung. Die dritte Kammer ist eine Ultraniederdruckkammer für Plasmaexperimente. Diese Kammer soll den Verlust von Reaktanden minimieren und eine homogene Umgebung gewährleisten. Die Kammer kann bis zu einem Druck von 0,1 Torr betrieben werden. Es wird hauptsächlich für Dünnschichtabscheidungsprozesse und die Entwicklung von Monomeren oder Partikeln eingesetzt. Die vierte Kammer ist eine entfernte Sputterabscheidekammer. Diese Kammer ist dafür ausgelegt, Dünnschichten mit hoher Präzision und Genauigkeit auf Substraten abzuscheiden. Diese Kammer wird typischerweise zur Abscheidung von leitfähigen, magnetischen, Halbleiter- und anderen Spezialschichten verwendet. Die fünfte Kammer ist ein modularisierter Paketcluster, der zur effizienten Abscheidung dünner Substratschichten verwendet wird. Die Pakete können einzeln angeordnet oder zu komplexen Strukturen und Schichten mit unterschiedlichen Zusammensetzungen kombiniert werden. Zusätzlich ist die Kammer mit automatisierter In-situ-Diagnostik und einem Ionenstrahl-Ätzer ausgestattet. Die sechste Kammer ist eine Oberflächenanalysekammer. Diese Kammer ist für Oberflächenmodifikationen wie Ätzen, Glühen und Dünnschichtabscheidung ausgelegt. Zusätzlich beherbergt die Kammer ein optisches Mikroskopie-Diagnosesystem, mit dem Oberflächenmorphologien analysiert werden können. Die siebte Kammer ist ein fortgeschrittenes Laserablationsmodul. Dieses Modul dient zur konformen Beschichtung, zur Strukturierung auf Waferebene und zur Strukturänderung. Die Kammer beherbergt einen Hochleistungs-Pulslaser, mit dem komplexe Muster und andere funktionale Strukturen erzeugt werden. Die achte und letzte Kammer ist die Nachbehandlungskammer. Diese Kammer ist zur Steuerung der Abscheiderate von Folien auf Substraten ausgelegt und mit der notwendigen Hardware und Software zur Steuerung der Umgebung und zur Nachbearbeitung der Folien ausgestattet. Es ist ein wichtiger Teil des Endura II und wird als letzte Stufe für Behandlungen verwendet, bevor es an Kunden gesendet wird. Insgesamt sind die 8 Einzelkammern von AMAT (APPLIED MATERIALS) Endura II für eine Vielzahl von Plasmabehandlungen, Abscheideprozessen, Oberflächenmodifikationen und Spezialanwendungen konzipiert. Die Kammern bieten eine präzise Temperaturregelung, Ionenstrahlätzen, optische Mikroskopieanalyse, Laserablationsmodule und Nachbehandlungsbearbeitung. Es ist ein fortschrittlicher Plasmareaktor, der Herstellern hilft, qualitativ hochwertige Produkte effizient und kostengünstig herzustellen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor