Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8130 #9364855 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8130 ist ein fortschrittlicher, hochleistungsfähiger und kostengünstiger chemischer Dampfabscheidungsreaktor, der zur Verarbeitung von 3D-NAND und anderen Kreislaufbildungsprozessen verwendet wird. Mit einer vertikalen Ausrichtung ist AMAT 8130 in der Lage, gleichmäßig dicke, gleichförmigkeitsgesteuerte Schichten auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm abzuscheiden. Mit modularem, werkzeugagnostischem Design kann APPLIED MATERIALS 8130 für eine Reihe unterschiedlicher Abscheideprozesse eingesetzt werden. 8130 ist ein Einzel-Wafer-Reaktor mit einem fortschrittlichen mechanischen Design, das schnelle und zuverlässige Leistung liefert. Die mechanische Konstruktion ermöglicht eine schnelle und einfache Wartung sowie ein erweitertes Prozessfenster. Die große, mehrzonige Be-/Entladestation bietet eine enge Kontrolle über Temperatur, Strömung und Druck, um eine gleichmäßige Abscheidung zu erzielen. Zusätzlich gibt es vier unabhängige Prozesskammern mit jeweils einem eigenen Heizelement, das bis zu 630 ° CI/250 ° C backen kann. Die unabhängigen Heizelemente ermöglichen eine verbesserte Gleichmäßigkeit des Substratprozesses und wurden auf eine gleichmäßige Temperatur von ± 2 ° C getestet. Darüber hinaus ist AMAT/APPLIED MATERIALS 8130 mit einer fortschrittlichen Vakuumsteuerung ausgestattet, die eine Reihe von Prozessdrücken ermöglicht und Reaktantgase effektiv entfernt. Das System besteht aus einem digitalen Druckregler, der den erforderlichen Prozessdruck aufrechterhält, und einer turbomolekularen Pumpe, die ein schnelles, zuverlässiges und stabiles Vakuum liefert, was zu einer verbesserten Abgabe von Reaktantgasen und einer verbesserten Prozesssteuerung führt. Eine integrierte Bewegungseinheit, gesteuert durch die Roboterschnittstelle des Reaktors, automatisiert das Be-/Entladen von Substraten und ermöglicht einen schnellen und einfachen Transfer zwischen den vier Reaktionskammern. Darüber hinaus vereinfacht die integrierte Bewegungsmaschine die Wartung und reduziert Ausfallzeiten. Das Werkzeug ermöglicht auch eine präzise Steuerung der Substratpositionierung und Prozesstemperatur, was eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. AMAT 8130 ist ein fortschrittlicher, hochleistungsfähiger und kostengünstiger chemischer Dampfabscheidungsreaktor, der entwickelt wurde, um eine verbesserte Abscheidungsprozessgleichmäßigkeit und -leistung zu erzielen. Mit seinem modularen, werkzeugagnostischen Design kann APPLIED MATERIALS 8130 für eine Vielzahl von Schaltungsbildungsprozessen verwendet werden, die bei der Herstellung von 3D-NAND und anderen fortschrittlichen integrierten Schaltungen verwendet werden. Seine integrierte Bewegungskapazität, zusammen mit dem digitalen Druckregler und der Turbomolekularpumpe, gewährt dem Reaktor eine verbesserte Prozesssteuerung und eine höhere Genauigkeit. Mit der Fähigkeit, bis zu 630 ° C in einer Atmosphäre von ± 2 ° C zu backen, eignet sich 8130 gut für hochpräzise Abscheideprozesse.