Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 1600A #9196910 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9196910
Wafergröße: 2"
Weinlese: 1999
PECVD System, 2"
Glass size: 370 X 470 mm
TM Chamber
A/B/C/D Chambers
MFC Box
Regulator box
Main frame
Control panel
Index
Monitor table
Pump rack
Dry pump 1 (L/L)
Dry pump 2 (T/M)
Remote frame
Main scrubber
Missing parts:
(4) Chambers pump
Suspector (4) Chambers
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600A ist ein High-End-Forschungs- und Entwicklungsreaktor für die atomare Schichtabscheidung (ALD) und plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD). Dieser Einzel-Wafer-Reaktor ist in der Lage, extrem dünne Filme von nur wenigen Nanometern Dicke präzise und kontrollierbar abzuscheiden, was ihn ideal für die Geräteherstellung und Nanotechnologie-Forschung macht. Die Kammer der AKT 1600A hat einen Durchmesser von 200 mm und ist in der Lage, Substrate mit einem Temperaturbereich von 50 ° C bis 800 ° C und Drücken von 0,5 bis 200 mTorr zu handhaben. Es ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Atmosphären und Strömungen, einschließlich Stickstoff, Schwefelhexafluorid und Argon/Sauerstoff. Der Reaktor ist für einfache Bedienung und einfache Kalibrierung ausgelegt. Es verfügt über sechs Probenhubpositionen und kann auch zum Sammeln von Seitenprofilen zur weiteren Analyse verwendet werden. Diese Funktionen kombinieren, um Anwendern genaue Kontrolle über Abscheidungsraten und Gleichmäßigkeit zu geben. Die Stromquelle auf AMAT 1600A ist ein 2.75kW HF-Generator; eine sehr effektive Energiequelle für ihr Anwendungsspektrum. Dieser Generator bietet eine breite Palette von Betriebsfrequenzen von 1 kHz bis 1 MHz. Es ist mit fortschrittlicher Software ausgestattet, mit der Benutzer Einstellungen wie Frequenz, Leistung und Bias anpassen können. Das 1600AL bietet auch erweiterte Funktionen zur Temperaturregelung und -überwachung, mit denen Benutzer Temperaturen innerhalb von 0,2 ° C einstellen und überwachen können. Dies ist ideal für Anwendungen, die sehr genaue Temperaturen erfordern, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Schließlich ist APPLIED MATERIALS 1600A mit einem automatisierten Reinigungssystem ausgestattet, um die höchste Sauberkeit in der Kammer zu erhalten. Dieses System trägt dazu bei, dass die Leistung des Reaktors im Laufe der Zeit kompromisslos bleibt. All diese Funktionen machen 1600A heute zu einem der beliebtesten und zuverlässigsten Forschungs- und Entwicklungsreaktoren auf dem Markt. Der Reaktor ist die erste Wahl für viele fortschrittliche Anwendungen in der Materialforschung und Geräteherstellung geworden.
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