Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS / AKT 4300 #9383296 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 4300 ist ein Plasmaätz- und Abscheidungsreaktor mit einer horizontal orientierten Einwafer-Prozesskammer. Es ist in der Lage, Ätz-, Abscheidungs- und High-Density-Plasma (HDP) -Prozesse bei hohem Durchsatz mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle durchzuführen. AKT 4300 ist ein produktionsfertiger Reaktor, der eine Vielzahl von Prozessanwendungen wie ein- und mehrstufige Ätz- und Abscheideprozesse durchführen kann. Es verwendet eine Vielzahl von Prozessgasen, darunter Helium-, Stickstoff-, Argon- und Chlorgase. Eine fortschrittliche Gaskontrollausrüstung sorgt für eine präzise und wiederholbare Plasmachemie-Steuerung in der gesamten Prozesskammer. Der Reaktor nutzt modernste Plasmaerzeugungs-, Überwachungs- und Steuerungstechnologien. Das magnetische Plasmabegrenzungssystem ermöglicht eine ausgezeichnete Prozessgleichförmigkeit und -steuerung, während die fortschrittliche Wafer-Bewegungssteuereinheit einen präzisen Wafertransport und -verarbeitung gewährleistet. Die integrierte Prozesssteuerungsmaschine passt die Parameter automatisch an sich ändernde Bedingungen an. Der Reaktor verwendet ein fortschrittliches PECVD-Verfahren, das High-End-Si und SiGe-Dotierung für harte Plasmaätz- und hochdichte Plasmaanwendungen (HDP) unterstützt. Es hat auch die Fähigkeit, parallel zu arbeiten, Mapping RIE mit flachen Graben Isolation (STI) Anwendungen. Der Reaktor ist mit einer in situ kapazitiv gekoppelten Plasmaquelle (CCP) ausgestattet, die eine hervorragende Prozessleistung bietet. Der Reaktor kann hohen Temperaturen und Druck standhalten und ist für den 24/7-Betrieb in Serienumgebungen ausgelegt. Es kann Wafer bis zu 8 "Durchmesser aufnehmen und verarbeitet sie bei bis zu 200 W/cm. Es enthält auch moderne Vakuum- und Drucksteuerungssysteme, um einen wiederholbaren, störungsfreien Betrieb zu gewährleisten. AMAT 4300 ist ein sehr vielseitiger Reaktor, der den Anforderungen der fortschrittlichen Geräteherstellung gerecht wird. Seine Fähigkeit, mit unterschiedlichen Chemikalien zu ätzen und abzulegen, bietet eine hervorragende Prozessfähigkeit, so dass Benutzer eine Vielzahl von Gerätestrukturen und -prozessen entwickeln und verfeinern können. Dank seines ausgeklügelten Designs und seines fortschrittlichen Prozesskontrolltools können 4300 für eine verbesserte Durchsatzleistung, Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle für die fortschrittliche Geräteherstellung sorgen.