Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AKT-55k #9237806 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9237806
PECVD System
Generation: 8.5
Dual single slot loadlock (Loading, cooling, unloading)
Transfer chamber
(3) Process chamber
Master cluster controller
Remote support system:
RF Generator
Pump
Abatement
Heat exchanger
Remote plasma
Substrate size: 2200 mm x 2600 mm
(3) Susceptor: Temperature<230°C
(2) Loadlock: DSSL
Vacuum robot: Dual arm
(3) RPSC: MKS
(3) Abatement
EDWARDS Pumps:
(7) iH1800
(3) iF30K
RF Generator:
(3) 13-14MHz (15kW)
(4) 40MHz (4kW)
(3) Gas panels: NF3, Ar, SiH4, H2, PH3, B2H6
Loader: Manual loader.
AMAT/APPLIED MATERIALS AKT-55k reactor ist eine industrielle Reaktantenkammer, die die Synthese verschiedener Verbindungen in kontrollierten Reaktoreinstellungen erleichtert. Es handelt sich um ein abgedichtetes Gefäß, in dem verschiedene Reaktionskonktanten gemischt und zu neuen chemischen Verbindungen umgesetzt werden und Temperaturen bis 1000 ° C aufrechterhalten können. Die Kammer besteht aus mehreren modularisierten Komponenten, darunter einer kalten Außenwand, einer Reaktionskammer und aktiven Teilen. Die kalte Außenwand ist eine doppelwandige Schale aus Edelstahl, die als nicht-reaktives Gehäuse für die gesamte Einheit dient. Innerhalb der Außenschale befindet sich die Reaktionskammer, in der der Reaktionsprozess stattfindet. Die Kammer ist feuerfest ausgekleidet und für die Aufnahme von bis zu 55 kg Material ausgelegt. Die aktiven Teile des Reaktors bestehen aus einer Gasbehandlungseinrichtung, einem Temperaturregelsystem, einer Drucksteuereinheit und einer Fluidübertragungsmaschine. Das Gas-Handling-Tool verwendet Erdgas als Kraftstoffquelle, um die erforderlichen Temperaturen zu erzeugen, während die Temperaturregelung die Temperaturen optimiert, um die gewünschten Reaktionsbedingungen zu erfüllen. Ebenso verwaltet das Druckregelmodell die Druckniveaus innerhalb des Reaktors, und die Fluidübertragungseinrichtung verwaltet das Material, das in den Reaktor eingespeist wird. Das System ist außerdem mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um eine optimale Leistung und Sicherheit von Personal und Ausrüstung zu gewährleisten. Ein explosionsgeschützter Flammenstillstand verhindert das Auftreten von Explosionen im Inneren des Schiffes. Im Aggregat ist auch ein Überdruckventil zur Entlüftung von Überdruck im Reaktionsauslauf enthalten. Außerdem ist eine Inertgaszuleitung vorgesehen, um zu verhindern, dass reaktive Materialien gefährliche Reaktionen hervorrufen. Der Reaktor ist ideal für eine Reihe verschiedener Anwendungen, darunter chemische Synthese, metallurgische oder chemische Anlagen, petrochemische Raffination und die Prüfung und Charakterisierung neuer Materialien. Dieses preisgünstige Gerät bietet eine effiziente und kontrollierte Leistung und kann in eine Vielzahl von Industriebetrieben integriert werden.
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