Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMC-7700 #293666919 zu verkaufen

ID: 293666919
Wafergröße: 6"
EPI Reactor, 6" Moore uniformity kit.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7700 reactor ist eine modulare, computergestützte Plasmaätzanlage, die für eine Vielzahl von Waferätzprozessen verwendet wird. Es ist so konzipiert, dass es ein kostengünstiges, zuverlässiges und effizientes Mittel zur Herstellung elektronischer Bauteile ist, die das präzise Entfernen von Materialschichten erfordern, um die gewünschten konstruktiven Anforderungen zu erfüllen. Der Reaktor ist in der Lage, Materialien wie Glas, Metalle, Keramik und Kunststoffe zu verarbeiten. AMAT AMC-7700 ist mit einem 3-Phasen-Netzteil, Mehrfachsteuerungen, industrietauglichen HF-Komponenten und einem robusten Druck- und Temperaturregelungssystem ausgestattet. Diese Kombination von Komponenten ermöglicht eine präzise Steuerung von Plasmaparametern und Zyklusbedingungen für verbesserte Prozesssicherheit und Ausbeuten. Das Gerät ist sowohl für die Chargen- als auch für die Einzelwaferbearbeitung ausgelegt. Das In-situ-Überwachungswerkzeug (ISM) der Maschine besteht aus einem Paar lastgesperrter, belastbarer Gaszellen, in denen der Kammerdruck, die Temperatur und die HF-Frequenzen gesteuert werden können. Das ISM ermöglicht Echtzeit-Anpassungen von Kammerparametern, um optimale Ätzergebnisse zu gewährleisten. Dies reduziert auch den Zeitaufwand für die Einrichtung und das Werkzeug des Assets für jeden Prozess. Das ISM wird auch verwendet, um den Status und die Zusammensetzung des Probenbereichs zu erfassen und bei der Fehlerbehebung und Wartung zu helfen. APPLIED MATERIALS AMC 7700 bietet auch eine Reihe weiterer Unterstützungskomponenten, wie eine funktionsgesteuerte Ätzratensteuerung, mehrere Scan-Modi, mehrere Konfigurationen, ein hochkonfigurierbares In-situ-Überwachungsmodell und einen zyklischen und schnellen Pulsmodus. Diese Reihe von Funktionen ermöglicht Flexibilität während des Ätzprozesses und kann helfen, Prozesszeiten zu reduzieren. Darüber hinaus ist der Reaktor mit vielen bestehenden und neueren Roboterhandhabungssystemen kompatibel, um die Effizienz und Qualität des Ätzprozesses weiter zu verbessern. Zusammenfassend ist APPLIED MATERIALS AMC-7700 eine vertrauenswürdige, zuverlässige und kostengünstige Ausrüstung für Präzisionsätzprozesse. Seine Vielzahl an Funktionen und Komponenten, wie das In-situ-Überwachungssystem, mehrere Scan-Modi und die funktionsgesteuerte Ätzratensteuerung, bieten eine enorme Flexibilität für den Ätzprozess. Diese robuste Einheit ist für jede Halbleiterherstellungsanlage von unschätzbarem Wert.
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