Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #9293631 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX
ID: 9293631
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1982
Epitaxial reactor, 6" 1982 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX Reaktor ist ein branchenführendes Prozesswerkzeug für die Herstellung von Wafern, das Betriebstemperaturen bei hoher Leistung ermöglicht. Es ist der höchste Performer-pro-Watt-Reaktor unter seinen Kollegen für großformatige Kammersysteme. Der Reaktor kombiniert die AMAT-Technologie Enhanced Anneal und Atomic Layer Deposition, um den mehrstufigen Prozessfluss mit der höchsten Gleichmäßigkeit und Abscheidungsrate für fortschrittliche Materialien mit niedrigem k und porös-niedrigem k zu unterstützen. AMAT AMC 7800 RPX Reaktor ist ein vielseitiges, kosteneffizientes Werkzeug, das einfach zu bedienen und zu warten ist. Es bietet einen hohen Durchsatz mit einer maximalen Prozessgeschwindigkeit von 80 Wafern pro Stunde und ist für Vorkonditionierungs-, Tieftemperaturglüh-, Reinigungs-, Filmwachstums- und Ätzprozesse ausgelegt. Sein Lastanschluss ist in der Lage, Wafergrößen von bis zu 12 Zoll (300 mm) Durchmesser und Waferdicke von bis zu 4 mm zu handhaben. Die Vormischfunktion ermöglicht eine überlegene Wiederholbarkeit für verschiedene Prozessschritte bei optimalen Bedingungen. Seine ökologischen Nachhaltigkeitsmerkmale werden von APPLIED MATERIALS Enhanced Source Purge (ESP) angetrieben, die die Partikelverunreinigung verringert und Gas früher im Prozess für ein umweltfreundlicheres Werkzeug ausstößt. Es hilft auch, die Betriebskosten zu senken, indem es langfristige Zuverlässigkeit und Stabilität mit einem virtuellen Wartungsprogramm beibehält. Ein integriertes System zur aktiven Kontaminationskontrolle bietet eine Echtzeitüberwachung der Kammerreinheit und ermöglicht eine automatisierte Nitridreinigung. ANGEWANDTE MATERIALIEN AMC 7800 RPX ist mit Smart Sensing Technology und fortschrittlichen messtechnischen Funktionen ausgestattet und bietet ein komplettes Portfolio an hochauflösenden Diagnosen für die Echtzeit-Prozessanalyse und einen erhöhten Durchsatz. Die geschlossene Temperaturregelung optimiert die thermische Umgebung und gewährleistet eine genaue und wiederholbare thermische Verarbeitung für empfindliche Materialien. Der AMC 7800 RPX Reaktor ist ideal für kleine bis mittelgroße Halbleiterfabriken mit engen Budgets und begrenztem Platzbedarf. Seine überlegene Wiederholbarkeit und Leistung in Kombination mit hohem Durchsatz, branchenführender Prozessgleichförmigkeit und niedrigen Betriebskosten machen es zu einer großen Wahl für Produktionszwecke.
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