Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7810 #102168 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7810 ist ein industrieller Reaktor, der für Verfahren wie Oxidation, Strippen und Ätzen verwendet wird. Dieses spezifische Modell ist ideal für Anwendungen mit permanenten und oder flüchtigen Photoresists. AMAT AMC 7810 verfügt über eine Kammer mit einem gefertigten Volumen von 0,3m3 und kann Temperaturen bis 400 ° C aufweisen. Diese Kammer ist mit einer aus Edelstahl, KF-Bauteilen, elektrischen Anschlüssen und einem 6 "CF-Flansch aufgebauten Kammerdichtungseinrichtung abgedichtet. Der kontrollierte Druck kann mit einer mechanischen oder elektrischen Lösung stabilisiert werden. Der Reaktor enthält eine Reihe von Komponenten, die zur Aufrechterhaltung und Steuerung des Gasstroms und des Vakuums verwendet werden. Der Gasstrom wird von einem Gasquellensystem verwaltet, während das Vakuum von einem Diffusionspumpenregler verwaltet wird. Der Reaktor wird üblicherweise über eine Computer Automated Process Control (CAPC) Einheit gesteuert, die an eine PC Programmable Logic Controller Station angeschlossen werden kann. Diese Maschine wurde entwickelt, um die Betriebsparameter der Kammer wie Temperatur, Druck, Durchfluss usw. zu überwachen, zu erkennen und wiederherzustellen. ANWENDUNGSMATERIALIEN AMC 7810 enthält auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie ein Sicherheitswerkzeug, ein Auslassventil, eine Vakuumverriegelung und eine Druckanzeige. Der Reaktor soll eine genaue und präzise Steuerung des Ätzprozesses zur Photolackentfernung ermöglichen. Es bietet eine optimierte Lösung für geringes und mittleres Volumen, Prozessleitungsätzen und Waferreinigung. Es kann auch mit einer breiten Palette von Prozesschemie verwendet werden, bietet Flexibilität für verschiedene Ätzprozesse. Insgesamt ist AMC 7810 ein industrieller Ätz- und Gasströmungsreaktor, der hohe Temperaturen erreichen kann und leicht in eine Prozessleitung integriert werden kann. Es bietet eine präzise Steuerung für Ätzprozesse, indem es eine Vielzahl von Prozesschemien verwendet, die Zykluszeit reduziert und die Prozesseffizienz erhöht.