Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9390647 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811
ID: 9390647
Epitaxial reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811 ist ein Hochleistungs-Universalplasmareaktor, der speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessen durchzuführen, einschließlich Ätzen, Abscheiden und Reinigen. Der 7811 wurde entwickelt, um Präzisionsergebnisse bei minimaler Rüstzeit und -kosten zu erzielen. Dieser Reaktor bietet eine einheitliche Maschinenplattform für die kontinuierliche Waferbearbeitung, die sowohl für fortgeschrittene Entwicklungslabore als auch für Produktionsumgebungen geeignet ist. Es wurde so konzipiert, dass es robust und flexibel ist, sodass es für eine Vielzahl von Aufgaben konfiguriert werden kann. Der Reaktor weist ein aktives Kammervolumen von 4,6 m ^ 3 auf, wodurch er in der Lage ist, viele Wafer oder Substrate in einem einzigen Ansatz zu verarbeiten. Es verwendet auch eine Dualfrequenz-HF-Elektrode, um optimierte Ätzergebnisse zu erzielen und Plasma-Center-Drift zu reduzieren. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Plasmaverteilung über die Kammer. Der 7811 verfügt zudem über ein fortschrittliches Gasversorgungssystem mit Ultra-Low-Flow-Switching-Technologie und schnellen Tuning-Funktionen. Dies ermöglicht ein sofortiges Umschalten zwischen Gasen und Einstellungen sowie eine höhere Verarbeitungsflexibilität. Der Reaktor ist zudem mit einem fortschrittlichen Selbstkalibriersystem ausgestattet, das eine präzise Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit ermöglicht. Darüber hinaus bietet dieser Plasmareaktor überlegene Wartungsfunktionen. Es verfügt über einen Endbenutzer zugänglichen Primärgaskasten und einen schnell wechselnden, strömungsstarken Gaskrümmer. Es verwendet auch ein Luftpausensystem für einen sicheren und effizienten Service auf dem Gerät. Der AMAT AMC 7811 Plasmareaktor ist eine robuste und leistungsstarke Maschine, die sowohl für komplexe F & E-Prozesse als auch für Produktionsanwendungen geeignet ist. Es wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Ergebnisse in einer Reihe von Einstellungen zu gewährleisten, auch wenn sich die Anforderungen ständig ändern.
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