Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #9390648 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821 ist ein Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reaktor zur Verwendung mit Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Diese Anlage ist für die Beschichtung von Substraten mit dünnen Schichten aus dielektrischen und nichtdielektrischen Materialien ausgelegt, basierend auf integrierten Prozessentwicklungs- und Prozessleitsystemen. AMAT AMC 7821 bietet eine verbesserte Verarbeitungskontrolle gegenüber herkömmlichen thermischen Abscheidungstechniken und eine erweiterte Palette von Prozessen. Das System besteht aus einem elektrostatischen Spannfutter, zwei Hochfrequenzquellen, einer integrierten Turbopumpe und einem gesamten Vakuumflanschpaket. Das elektrostatische Spannfutter wird verwendet, um die bearbeitete Probe an Ort und Stelle zu halten, und ermöglicht eine genaue Kontrolle des zu bearbeitenden Bereichs und der Form des Substrats. Die beiden HF-Quellen dienen zur Erzeugung und Steuerung der Energie für den Abscheideprozess, wodurch je nach Prozessanforderungen kundenspezifische Bedingungen geschaffen werden können. Die integrierte Turbopumpe wird verwendet, um bei der Dünnschichtabscheidung eine Niederdruckumgebung zu erreichen und ermöglicht einen schnelleren Abpumpzyklus. Das FM-7821 ist zudem mit einem vollständig benutzerdefinierten Automatisierungspaket ausgestattet, das eine Vielzahl von Temperatur- und Regeleinstellungen umfasst. Dies ermöglicht präzise, wiederholbare Verarbeitungsbedingungen und minimiert das Risiko von Fehlern während des Abscheideprozesses. Das benutzerdefinierte Automatisierungspaket umfasst auch die Steuerung des Prozessgases, wie Gasmischung, Durchflussmenge und Partialdruck der Gase innerhalb der Kammer. Die Reaktionskammer ist aus aluminiumbeschichtetem und rostfreiem Stahl gefertigt und nutzt ein optimiertes Glockenglas-Design, um die Chancen auf Überschlag oder Lichtbogen während des Abscheideprozesses zu reduzieren. Die Präzision dieser Konstruktion ermöglicht schnellere Prozesszyklen und verbesserte Gleichmäßigkeit und Stabilität des Verfahrens, was zu dünnen Schichten höherer Qualität führt. ANGEWANDTE MATERIALIEN AMC 7821 ist für verbesserte Kosteneffizienz und Umweltsicherheit konzipiert. Es minimiert die benötigte Menge an Materialien und Gasen, die für den Prozess verwendet werden, wodurch die Kosten gesenkt und die Sicherheit verbessert wird. Das Gerät bietet auch eine Reihe von Sicherheitssensoren zur Überwachung von Partikeln in der Luft und anderen potenziellen Risiken im Zusammenhang mit der Plasmabearbeitung. Zusammenfassend ist AMC 7821 ein vielseitiger PECVD-Reaktor, der eine effiziente und zuverlässige Dünnschichtabscheidung mit ausgezeichneter Präzision und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Die Maschine nutzt fortgeschrittene benutzerdefinierte Automatisierungspakete, um eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten, und bietet niedrige Kosten und Umweltsicherheit, indem die erforderliche Menge an Prozessmaterialien minimiert wird. Es ist ein ideales Werkzeug für die hochpräzise Dünnschichtabscheidung.