Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9024606 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100 ist eine fortschrittliche Plasmareaktorausrüstung zur Herstellung von hochwertigen integrierten Schaltungen. Dieses System verwendet eine Kombination aus Gasen, Sauerstoff, Wasserstoff und Stickstoff, mit thermisch erzeugtem Plasma, um Material auf einem Substrat abzuscheiden. Die Kammer der AMAT AMS 2100 enthält einen Hochleistungs-HF-Generator zur Erzeugung des Hochenergie-Plasmas sowie ein mechanisches Wafer-Spannfutter zur Aufnahme des Substrats während der Verarbeitung. Das Gerät verfügt ferner über eine Hilfsstromversorgung zur Regelung der Temperatur der Substratscheibe während der Verarbeitung. Das Maschinendesign zeichnet sich durch eine einzigartige Kombination aus Ätz- und Abscheidefähigkeit aus, die es ermöglicht, Geräte zu möglichst geringen Kosten mit den höchsten Erträgen zu bilden. Das Plasmaprozess von APPLIED MATERIALS AMS 2100 bietet eine hervorragende Schrittabdeckung in den engsten Linienbreiten sowie dielektrische Schichten hoher Dichte und geringer Oberflächenrauhigkeit. Seine Glühfunktionen bei niedriger Temperatur sorgen für höchste Materialhaftung und überlegene Geräteleistung. Das Werkzeug bietet auch eine hohe Abscheiderate mit ausgezeichneter dielektrischer Gleichmäßigkeit und verbesserter Bodendeckung. Das Verfahren kann zur Abscheidung von Kupfer-, Wolfram- und Aluminiummetallisierung sowie dielektrischen, isolierenden und polymeren Folien eingesetzt werden. AMS 2100 verfügt über eine Reihe von Steuerungsfunktionen zur Bereitstellung einer hochgenauen Prozesssteuerung, einschließlich Temperatur, Druck und Durchflusssteuerung. Das Asset verfügt über eine breite Palette von Prozessrezepturen mit benutzerdefinierten Parametern, die für bestimmte Anwendungen optimiert werden können. Flexible Steuerungsfunktionen ermöglichen eine Echtzeit-Abstimmung der Parameter für optimale Ergebnisse, während erweiterte Funktionen eine automatische Optimierung der Abscheidungsumgebung ermöglichen. Die wiederverschließbare Kammer von AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100 vereinfacht den Austausch von Substraten und minimiert Kontaminationsrisiken. Das Modell verfügt auch über schnelles Be- und Entladen von Proben, ohne dass eine Handschuhbox erforderlich ist, wodurch das Risiko einer Partikelverschmutzung und einer Kontamination der Umwelt minimiert wird. Der Prozessmonitor ist entworfen, um Kammerdruck, Temperatur und Gasströme während der Produktionsläufe zu überwachen, um Prozessintegrität und Qualität zu gewährleisten. Abschließend ist AMAT AMS 2100 eine fortschrittliche und vielseitige Reaktorausrüstung, die für die Herstellung einer Vielzahl von integrierten Schaltungsprodukten verwendet werden kann. Es bietet eine hervorragende Prozesssteuerung, automatisierte Optimierungsfunktionen und einen vereinfachten Substrataustausch. Seine überlegene Schrittabdeckung und hohe Abscheideraten ermöglichen es, Geräte schnell und mit hohen Erträgen zu bilden.