Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9068943 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100 Reaktorausrüstung ist für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen konzipiert und bietet fortschrittliche Abscheidungsfähigkeiten für Metall, dielektrische und III-V-Halbleitermaterialien. Es besteht aus drei Hauptkomponenten: der Prozesskammer, dem Gas Delivery System (GDS) und dem Controller. Prozesskammer: Die Prozesskammer wurde entwickelt, um die notwendigen Druck-, Temperatur- und Gasbedingungen für die Herstellung von Halbleitersubstraten und Wafern zu schaffen. Es verfügt über ein neuartiges septumless Design, das die Notwendigkeit von Abdeckungen eliminiert und eine direkte Zufuhr von Prozessgasen in die Mitte der Kammer ermöglicht. Die Kammer wurde auch mit der Flexibilität entworfen, eine breite Palette von Prozessanforderungen zu erfüllen, einschließlich Einheit Integration mit mehreren Quelltechnologien (CVD, PECVD, PVD, etc.). Die Kammer besteht aus einer innovativen Edelstahl- und Teflon-Konstruktion, die eine effiziente Wärmeübertragung und ein thermisches Management des Substrats ermöglicht. Gas Delivery Machine: Das GDS steuert den Fluss von Prozessgasen und ist mit erweiterten Steuerungsfunktionen ausgestattet. Dies beinhaltet eine unabhängige Steuerung des Gasstroms, des Gesamtstroms und des Drucks. Das GDS ist auch so konzipiert, dass es in andere Quellen integriert und mit einer Vielzahl von Prozesswerkzeugen kompatibel ist. Controller: Der Controller bietet eine einheitliche Ansicht des gesamten AMAT AMS 2100-Tools. Es ist mit erweiterten grafischen Benutzeroberflächen (GUI) ausgestattet, die eine einfache Einrichtung und Kontrolle des Assets ermöglichen. Der Benutzer kann schnell über das Bedienfeld des Controllers auf alle Parameter und Diagnoseinformationen zugreifen. Die Software ermöglicht auch Fernzugriff und Datenverwaltung von einem Computer oder Tablet. Insgesamt ist der ANWENDUNGSMATERIALREAKTOR AMS 2100 so konzipiert, dass er höchste Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit bei großflächigen Halbleiterherstellungsprozessen erreicht. Es verfügt über einen einzigartigen und integrierten Ansatz für das Modelldesign, der eine überlegene Steuerung von Prozessgasen und ein effizientes Wärmemanagement ermöglicht. Der Controller bietet eine intuitive Benutzeroberfläche für einfache Einrichtung und Steuerung. Dies macht AMS 2100 Reactor zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Halbleiterherstellungsanlage.