Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9269434 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100
ID: 9269434
Wafergröße: 6"
CVD Systems, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100 ist ein weit verbreiteter chemischer Dampfabscheidungsreaktor (CVD), der zur Abscheidung verschiedener Dünnschichtmaterialien geeignet ist. Es bietet eine leistungsstarke, kosteneffiziente Abscheidung über eine Vielzahl von Wachstumsbedingungen. Der Reaktor hat eine maximale Temperatur von 2000 ° C, tolle Leistungsstufen bis 5000 W und kann bis zu 2200 Quadratzoll Substrat verarbeiten. Es verfügt über integrierte Sicherheitsfunktionen und kann manuell oder programmatisch bedient werden. AMAT AMS 2100 wurde entwickelt, um eine gleichmäßige Abscheidung über die gesamte Oberfläche von großflächigen Substraten zu ermöglichen. Es verfügt über eine Mehrzonen-Heizplattform mit variablen Zonen von 4 bis 10 je nach Konfiguration und kann Substrate mit einem Durchmesser von 12 Zoll oder bis zu 2200 Quadratzoll aufnehmen. Es kommt mit einem vertikalen Suszeptor-Lift für schnelle Substrathandhabung und kann Stickstoff, Argon, Silan, Ammoniak und andere Prozessgase für verschiedene Abscheidungsanwendungen geliefert werden. Der Reaktor verwendet eine Zweipumpe überlegene turbomolekulare Vakuumausrüstung, mit einem maximalen Basisdruck von 3x10-7 Torr, wenn eine Diffusionspumpe verwendet wird, bietet eine ausgezeichnete Prozesssteuerung und Gleichmäßigkeit. Es verfügt über eine zonierte Pumpgeometrie und ein einzigartiges Gasflusspfad-Design, um die Verweilzeit der Gasphase zu minimieren und den Gasverbrauch zu sparen. Der Reaktor wird auch mit fortschrittlichen Temperaturreglern und speziellen Sicherheitssystemen für Temperatur, Druck, thermische Belastung und Gasüberdruck geliefert. ANGEWANDTE MATERIALIEN AMS 2100 ist auch für sicherere Bedienung und Wartung konzipiert. Es wird mit integrierten Sicherheitssystemen und programmierten Sicherheitsprotokollen geliefert, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Das Bedienfeld des Reaktors kann für den manuellen Betrieb verwendet werden, einschließlich der Einrichtung von Wachstumsparametern, der Überwachung der Prozessbedingungen und des Abschaltens des Systems. Es verfügt außerdem über eine Prozesssteuereinheit für den programmatischen Betrieb, die ein kontinuierliches und unbeaufsichtigtes Wachstum ermöglicht. Es gibt eine Vielzahl von anderen Funktionen und Optionen, alle entworfen, um AMS 2100 CVD Reaktor eine vielseitige und zuverlässige Maschine für Folienabscheidung mit überlegenen Eigenschaften für verschiedene Anwendungen zu machen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor