Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ASP Chamber for P5000 #293642390 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS ASP Chamber ist ein hochmoderner Reaktor, der in der Verarbeitung von Materialien im Nanometermaßstab eingesetzt wird. Dieser Reaktor vereint zwei Haupttechnologien: Plasma-basierte Ätzung und Advanced Substrate Processing (ASP). Die plasmabasierte Ätzung dient zur Reinigung, Oberflächenverarbeitung und Ätzung von Materialien im Nanometermaßstab. Die Plasmaquelle für das Ätzen wird von einer proprietären Dual-Frequenz-Magnetronquelle bereitgestellt, die ein Ätzen mit hoher Selektivität und Anisotropie über eine breite Palette von Materialien hinweg ermöglicht. Diese Ätzung wird auch durch eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle, einen entfernten HF-Generator und eine Quelle hoher Dichte weiter verbessert. Zusätzlich wird die Ätzfähigkeit durch die In-situ-Substrat-Heizmöglichkeiten ergänzt, die eine schnelle und gleichmäßige Temperaturregelung ermöglichen, die einheitliche Ätzraten und eine hervorragende Kontrolle ermöglicht. Die zweite Komponente von AMAT ASP Chamber ist die Advanced Substrate Processing (ASP) Technologie. Diese Technologie bietet eine Reihe einzigartiger Fähigkeiten, einschließlich chemischer Abscheidung und Atomschichtabscheidung (ALD). Das ASP bietet chemische Abscheidung mit einem fortgeschrittenen Satz von Prozessgasen, eine proprietäre Langmuir-Blodgett-Plattform und integrierte Massenspektrometrie. Dieses Prozessgas ermöglicht eine präzise Kontrolle der Schichtdicke und Gleichmäßigkeit auf Nanometerskala. Die ALD-Fähigkeiten von APPLIED MATERIALS ASP Chamber werden durch die Massively Parallel ALD Source (MPALS) ermöglicht. Diese Quelle ermöglicht hochgenaue Abscheidungen mit ausgezeichneter Energie- und Flusssteuerung für eine gleichmäßige Filmabscheidung auf einer großen Substratfläche. Zusätzlich wird das ALD-Verfahren durch eine integrierte Temperaturzyklusrampe ermöglicht, die eine präzise Zusammensetzungssteuerung, eine ausgezeichnete Wärmeisolierung und eine gleichmäßige Filmdichte ermöglicht. Abschließend dient ASP Chamber als leistungsfähiges Werkzeug für die Herstellung, Verarbeitung und Abscheidung, um die Anforderungen der fortschrittlichsten nanoskaligen Anwendungen zu erfüllen. Dieser Reaktor bietet Präzisionssteuerung von Ätzparametern sowie chemische und atomare Schichtabscheidung für einzigartige nanoskalige Verarbeitungsanforderungen.
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