Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CL #9313565 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS AxZ Kammern für Endura CL ist eine Reaktionskammerausrüstung, ideal für eine Vielzahl von Abscheideprozessen, einschließlich ultradünner Filmabscheidung und Ätzen. Dieses System ist für den Einsatz bei der Herstellung von ultradünnen Filmen auf Halbleitersubstraten für Anwendungen wie Halbleiterherstellung, MEMS/MOEMS, LED, OLED, für die Solarzellenherstellung und mehr konzipiert. Die AxZ-Kammereinheit besteht aus zwei Komponenten: dem Hauptkörper und dem Endura CL-Modul. Der Hauptkörper der AxZ-Kammer ist aus Edelstahl gefertigt und auf maximale strukturelle Integrität und zuverlässigen Betrieb ausgelegt. Es zeichnet sich durch ein innovatives Design aus, das die lokalen Abscheidungsungleichförmigkeiten minimiert, um eine gleichmäßige Abscheidung über die gesamte Oberfläche des Wafers zu ermöglichen. Das Endura CL Modul besteht aus einer E-Kammer, einer zentralen Vorheizeinheit und einem Abgasstapel. Die E-Kammer besteht aus einer Deckelkammer, Prozessgaseinlässen und Waferliftstiften. Die Vorheizeinheit besteht aus einem Quarzrohrheizer, Infrarotlampen und einem Thermoelement, die alle thermisch von der E-Kammer isoliert sind, um eine Kontamination des Prozesses zu verhindern. Der Abgasstapel ist so ausgelegt, dass gefährliche oder gefährliche Stoffe, die beim Ätzen oder Abscheiden entstehen, schnell evakuiert werden. Die AxZ-Kammer für Endura CL ist ideal für eine Vielzahl von Abscheidungsprozessen wie chemische Dampfabscheidung (CVD), physikalische Dampfabscheidung (PVD), elektrochemische Abscheidung (ECD) und plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD D). Diese Maschine kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll aufnehmen und Substrate wie Silikon, Titan und Aluminium verarbeiten. Es verfügt auch über eine hohe Containment-Level (HCL) Fähigkeit für erhöhte Sicherheit während des Betriebs. Darüber hinaus kann die AxZ-Kammer für Endura CL sowohl im manuellen als auch im automatischen Modus arbeiten und ist somit eine ideale Wahl für die Fertigung von Produktionslinien. Zusammenfassend ist AMAT AxZ Chambers for Endura CL ein äußerst vielseitiges Reaktionskammerwerkzeug, das auf zuverlässige Leistung und genaue Waferbearbeitung ausgelegt ist. Es verfügt über einen robusten Edelstahl-Hauptkörper und ein modulares Endura CL-Modul für erhöhte Funktionalität und kann eine Vielzahl von Wafertypen aufnehmen. Darüber hinaus ist es mit verschiedenen Abscheideprozessen kompatibel und sowohl manuell als auch automatisch arbeitend. Die AxZ-Kammer für Endura CL ist ideal für die Halbleiterherstellung, MEMS/MOEMS und andere verwandte Anwendungen.