Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE #293631717 zu verkaufen
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ID: 293631717
Weinlese: 2004
MKS Astron EX RPS
CLS208 Watlow controller
ALN Ceramic heater
1-1/8 C-Seal surface mount gas panel
0195-01042 AC Box
1080-00126 Heater lift driver
0190-13840 Pin lift driver
Manometer: 20T / 1000T
Pressure switch: 10 Torr
MKS 683B-31931 Throttle valve
NC 021010-1 ISO Valve
Process kit:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping ring
Lift hoop
Gas panel:
Gas line / Gas / Size / MFC / Valve
1 / O3 / - / - / -
2 / O3 / - / - / Hamlet
3 / O2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
7 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
8 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
9 / HE / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
10 / N2-Purge / - / - / Hamlet
11 / N2-Purge / - / - / Hamlet
12 / NF3 / 5000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet
13 / HE / 5000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet
14 / AR / 15000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet
Liquid 1 / - / - / - / TEPO
Liquid 2 / - / - / - / TEOS
Liquid 3 / - / - / - / TEPO
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE ist ein Hochleistungsreaktorsystem zur Abscheidung von BPSG-Dünnschichten in Halbleiterherstellungsprozessen. Diese Kammer ist eine kritische Komponente der AMAT Producer SE Plattform, die ein vielseitiges und weit verbreitetes System in der Halbleiterindustrie für eine Reihe von Dünnschichtabscheidungsanwendungen ist. Die BPSG-Kammer verwendet eine einzigartige Kombination aus chemischen Vorläufern und Prozessparametern, um BPSG-Folien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit, Reinheit und Folienqualität abzuscheiden. BPSG-Folien werden üblicherweise als isolierende Schichten in Halbleiterbauelementen verwendet, um eine elektrische Isolation zwischen verschiedenen Schichten des Bauelements zu ermöglichen und die Bauelementoberfläche für nachfolgende Bearbeitungsschritte zu planarisieren. Die Kammer ist mit fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer präzisen Steuerung der Gasflussraten, Temperatur, Druck und Plasmaparameter, um eine enge Kontrolle des Abscheidungsprozesses zu gewährleisten und die gewünschten Filmeigenschaften zu erreichen. Darüber hinaus verfügt die Kammer über einen hohen Grad an Automatisierung und Integration mit der Producer SE-Plattform, die einen reibungslosen Betrieb und effiziente Produktionsabläufe ermöglicht. Einer der Hauptvorteile von APPLIED MATERIALS BPSG Chamber ist seine Fähigkeit, BPSG-Folien mit hoher Filmdichte, niedrigen Verunreinigungen und ausgezeichneter Schrittabdeckung auf komplexen Gerätestrukturen abzuscheiden. Dies ist wesentlich, um die Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit von Halbleiterbauelementen in anspruchsvollen Anwendungen wie integrierten Schaltungen, Speicherbauelementen und Sensoren zu gewährleisten. Die Kammer ist mit einer modularen Architektur konzipiert, die eine einfache Wartung, Wartung und Aufrüstbarkeit ermöglicht, um die sich entwickelnden Prozessanforderungen zu erfüllen. Es ist mit modernsten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich Gasüberwachungs- und Verriegelungssystemen, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten und das Unfallrisiko in der Reinraumumgebung zu minimieren. AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber ist auch mit Blick auf Nachhaltigkeit konzipiert, mit energieeffizienten Komponenten, Abfallminimierungsstrategien und der Einhaltung von Umweltvorschriften. Dies entspricht der Verpflichtung der Halbleiterindustrie, ihren ökologischen Fußabdruck zu reduzieren und umweltfreundliche Herstellungspraktiken einzuführen. Zusammenfassend ist AMAT BPSG Chamber for Producer SE ein hochentwickeltes und zuverlässiges Reaktorsystem zur Abscheidung von BPSG-Folien in der Halbleiterherstellung. Seine Spitzentechnologie, Prozesssteuerungsfunktionen und Automatisierungsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiterhersteller, die BPSG-Hochleistungsfolien für ihre Geräte erzielen möchten.
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