Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Carina Mesa #9251127 zu verkaufen
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ID: 9251127
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
Chamber B
Axiom chamber D
AC Rack
Accessories included
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Carina Mesa Reaktor ist eine vollautomatische Abscheideanlage, die eine hochwertige Dünnschichtabscheidung auf einer Vielzahl von Oberflächen ermöglicht. AMAT Carina Mesa ist ein zweizoniger, hocheffizienter oder HIEEP-Reaktor, ein hybrider CVD-Prozess. Dieses System ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien, einschließlich Metalle, Oxide und Nitride, bei Temperaturen bis zu 1000C abzuscheiden. Das Zwei-Zonen-Design trägt zur Maximierung der Effizienz bei, da es die Einführung neuer Reaktanten in der ersten Zone ermöglicht, ohne dass das Gerät heruntergefahren werden muss. ANGEWANDTE MATERIALIEN Carina Mesa Reaktor kann kontinuierlich betrieben werden, was bedeutet, dass Reaktionspartner während des Betriebs der Maschine be- und entladen werden können, was einen höheren Durchsatz und eine erhöhte Prozessstabilität ermöglicht. Carina Mesa Reaktor ist mit einer Vielzahl von fortschrittlichen Prozesssteuerungen wie Temperaturüberwachung, Drucküberwachung, reaktive Gasflussregelung und automatisierte Rezeptsteuerung ausgestattet. Mit diesem Tool können auch erweiterte Prozessdiagnosen wie RIE/ICP-Ätzen und In-situ-Bogenwiderstandsmessungen eingesetzt werden. Dies ermöglicht eine höhere Prozessoptimierung und Reproduzierbarkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS Carina Mesa Reaktor ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich der Fähigkeit, Temperatur, Druck, Gasströme und zahlreiche andere Faktoren zu überwachen. Die Anlage verfügt außerdem über einen Notabschalter und begleitende Alarme zur schnellen Reaktion bei gefährlichen Situationen. Insgesamt ist AMAT Carina Mesa ein hochmoderner Abscheidereaktor, der hochwertige Dünnschichten bei präzisen Temperaturen mit außergewöhnlicher Reproduzierbarkeit abscheiden kann. Die Zwei-Zonen-Konstruktions- und Automatisierungsfunktionen gewährleisten hohe Durchsätze und optimale Prozessstabilität, während die fortschrittlichen Prozesskontrollen und Sicherheitsfunktionen dieses Modell zur perfekten Wahl für jede Ablagerungsaufgabe machen.
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