Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Carina #9240272 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Carina
ID: 9240272
Dry etcher.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Carina Reaktor ist eine fortschrittliche Abscheidung Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt. Das System nutzt physikalische Dampfabscheidung (PVD) und chemische Dampfabscheidung (CVD) Technologien, um Filme auf Substraten auf präzise und empfindliche Weise abzuscheiden. AMAT Carina Reaktor bietet Vorteile in Bezug auf Durchsatz, Gleichmäßigkeit und Gesamtleistung und ist damit eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Fertigungsanwendungen. Das Gerät verwendet eine hocheffiziente, modulare zweiteilige Abscheidekammer, die es ermöglicht, sowohl PVD- als auch CVD-Prozesse in einem einzigen Abscheideschritt durchzuführen. Der untere Teil wird als Abscheidekammer bezeichnet und enthält die Quellen, Substrate und Targetmaterialien, während der obere Teil aus dem Vakuumgefäß besteht. Die Abscheidekammer ist mit drei Quellen ausgestattet, darunter eine Ionenduschkammer, eine Sputterquelle und eine Elektronenstrahlquelle, die einzeln durch eine Stromversorgung ansteuerbar ist. Die Maschine verfügt außerdem über eine geschlossenzellige Quellkonfiguration für die CVD-Verarbeitung und Gaskrümmer für die Inertgasförderung. Die Abscheidekammer ist auf einer schwingungsisolierten, luftgekühlten Hubplattform montiert oder installiert, die ein schnelles und einfaches Be- und Entladen von Substraten ermöglicht. Es ist auch mit einer verstellbaren Substratheizung ausgestattet, die eine einstellbare Temperaturregelung für präzise und qualitativ hochwertige Ergebnisse bietet. ANGEWANDTE MATERIALIEN Carina Reaktor verfügt auch über ein ausgeklügeltes Vakuumwerkzeug, das eine präzise und stabile Umgebung für den Abscheidungsprozess bietet. Es ist für die Aufrechterhaltung einer Niederdruckumgebung ausgelegt und mit einer Reihe von Drucksicherheitsventilen und Sensoren zur Überwachung und Regelung des Kammerdrucks sowie der Substrattemperatur während des Prozesses ausgestattet. Das Gerät wird auch mit einer Vielzahl von Controllern und Sensoren geliefert, die die Überwachung und Echtzeitkontrolle während der Abscheidung erleichtern. Es ist auch mit fortschrittlichen Diagnose- und Feedback-Algorithmen entworfen, die helfen, Prozessqualität und Konsistenz zu gewährleisten. Insgesamt ist Carina ein hochpräzises Abscheidungsmodell, das die ultimative Leistung und den maximalen Durchsatz bei komplexen Halbleiterherstellungsprozessen liefert. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften ist es die ideale Wahl für Halbleiterherstellungsanwendungen, die extrem präzise und gleichmäßige Ergebnisse erfordern.
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