Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 DPN Gate Stack #293812988 zu verkaufen

AMAT Centura 4.0 DPN Gate Stack ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition) zur Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen. Es ist eine Mehrkammerausrüstung, die die Abscheidung einer Reihe von Materialien ermöglicht, einschließlich hochmoderner Silizide, Dielektrika, Metallkontakte und passivierte Gateoxide. Das System ist mit einer robusten Gasmanagementeinheit ausgestattet, um Druck und Strömung genau zu steuern. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine Temperaturregeleinheit, die eine präzise Temperaturregelung in allen Kammern ermöglicht. Die Temperaturregelung wird durch die in der gesamten Maschine verteilten hochauflösenden Temperatursensoren weiter verbessert. Die Centura 4.0 ist außerdem mit einer hochmodernen Ladeschleuse ausgestattet, um die Gleichmäßigkeit der Prozesskammer zu gewährleisten, und verfügt über eine geringe Substratkapazität für eine verbesserte Wiederholbarkeit und reduzierte Ladung. Beim Abscheidevorgang wird eine Kammer mit einem Waferträger vorgeladen und dann auf einen vorgegebenen Druck, im allgemeinen unter 50 ° C, abgepumpt. Das Wafersubstrat wird in das Lastschloß überführt und die Transferkammer geschlossen, um eine isolierte Umgebung zu schaffen. Es werden Gase eingeleitet und alle Strömungen genau erfasst und überwacht. Temperatur und Druck werden dann geregelt, um die Gleichmäßigkeit in der gesamten Kammer zu gewährleisten, und die Prozesschemie wird eingeleitet. Anhand der Abscheidungsparameter können dann verschiedene in integrierten Schaltungen verwendete Materialien auf das Wafersubstrat abgeschieden werden. Dazu gehören: Silizide, Dielektrika, Metallkontakte und passivierte Gateoxide sowie High-K-Dielektrika. Diese Materialien werden koaxial überwacht, um sicherzustellen, dass die gewünschte Temperatur erreicht wird, und es ist auch möglich, die Konzentrationen einiger Prozessgase, wie Silan, zu überwachen, um eine ordnungsgemäße Reaktion zu gewährleisten. Nach Beendigung des Prozesses wird der Wafer aus der Übergabekammer gelöst und in einen transportfertigen oder endgültigen Wafertransporter geladen. Der Centura 4.0 DPN Gate Stack bietet Ingenieuren und Wissenschaftlern die Möglichkeit, fortschrittliche integrierte Schaltungen schnell und effektiv herzustellen, was zu höheren Erträgen und verbesserter Leistung führt.