Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #189613 zu verkaufen

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ID: 189613
Wafergröße: 12"
Rev 4 HART mainframe only, 12" Amat centura rev 4 mainframe & gas box Previously fitted with with dual deep trench chambers Top source Chiller upgrade With 2 load locks 2 load ports MKS frca 26349 delta flow ratio controller Main frame only 12" mainframe controller configuration: A1- industry pack i/o A2- industry pack i/o A3- motion vacuum robot A4- dnet 2-ch. Scanner A5- dnet 2-ch. Scanner A6- dnet 2-ch. Scanner A7- serial A8- processor A9- (spare non-cpci slot) A10- cpci power B1- dnet i/o (dio. Combo) B2- (empty) B3- dnet i/o (dio. Combo) B4- motion signal conditioner with otf B5/B6- front end loadlocks B7/B8- interlocks B9- interlocks B10- interlocks (test connector empty) SMC ex180 sdn1 serial interface 2001 vintage.
AMAT Centura 4.0 ist eine fortschrittliche chemische Reaktionsanlage, die für die fortschrittliche Prozessentwicklung und -produktion entwickelt wurde. Es ist eine Cluster-Tool-Plattform und eine vollständige Systemintegrationsplattform, die eine robuste Reihe von Funktionen bietet. Das Gerät bietet eine Plattform mit hohem Durchsatz und Skalierbarkeit und ist für die schnelle Anpassung an neue Prozessentwicklungen konzipiert. Kern der Plattform ist die Zweizonenkammer, die eine ideale Umgebung für eine gleichmäßige und optimierte Fokussierung von Substrat- und Prozessenergien bietet. Die präzise Steuerung der Atmosphäre innerhalb der Zweizonenkammer erzeugt überlegene Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit und ist einzigartig für die Centura 4.0. Neben der außergewöhnlichen Kontrolle über die Prozessumgebung bietet die Centura 4.0 auch eine breite Palette fortschrittlicher Funktionen, darunter mehrere programmierbare Parameter, mehrstufige Pumpfunktionen und adaptive Process Control (APC), die alle zur Optimierung der Sechs-Sigma-Prozesse der Maschine beitragen. Die Centura 4.0 bietet zudem ein umfassendes Sortiment an nassen Prozessfähigkeiten mit einem automatisierten Werkzeug (AMHS), das das Be- und Entladen von Substraten und Materialien für die Verarbeitung erleichtert. AMHS ermöglicht schnelles Be- und Entladen von Proben sowie die geringere Ausfallzeit im Zusammenhang mit Experimenten zur Prozessoptimierung. Die Centura 4.0 bietet außerdem ein adaptives Prozesssteuerungsmodul (APC) und ein proprietäres Prozessreplikationsschema für maximale Prozessauslastung und -optimierung. Das APC-Modul analysiert die Prozessergebnisse und ermöglicht schnelle Anpassungen von in situ Prozessparametern zur Optimierung der Prozessperformance. Das Prozessreplikationsmodul sorgt dafür, dass durch Modulverlagerung, veränderte Umgebungsbedingungen oder die Einführung neuer Verarbeitungschemie alle rechtzeitig korrigiert oder minimiert werden, um jederzeit eine optimale Prozessgleichförmigkeit zu gewährleisten. Die Centura 4.0 bietet darüber hinaus erweitertes visuelles Feedback, Echtzeit-Tracking und eine Regulierung, um sicherzustellen, dass alle Prozessrezepte genau und konsistent befolgt werden. Die Kombination all dieser Funktionen stellt sicher, dass die Centura 4.0 in der Lage ist, überlegene Prozessleistungsergebnisse zu liefern. Abschließend ist die Centura 4.0 ein ausgeklügeltes chemisches Reaktionsmodell, das eine Plattform mit hohem Durchsatz, Skalierbarkeit und schnelle Prozessabstimmung bietet. Es bietet eine automatisierte Materialhandhabungsausrüstung mit hochpräziser Prozesssteuerung, adaptiver Prozesssteuerung, Prozessreplikationsschema und visuellem Feedback. Alle diese Funktionen kommen in der Centura 4.0 zusammen, um ein leistungsfähiges und zuverlässiges chemisches Reaktionssystem für die fortschrittliche Prozessentwicklung und -produktion zu schaffen.
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